| 摘要 | 第1-5页 |
| abstract | 第5-7页 |
| 第一章 绪论 | 第7-16页 |
| ·概述 | 第7-9页 |
| ·MgO的材料特性及其应用 | 第9-16页 |
| ·MgO的材料特性 | 第9-11页 |
| ·MgO的应用 | 第11-16页 |
| 第二章 常用的功能薄膜制备方法 | 第16-28页 |
| ·功能氧化物薄膜的制备方法 | 第16-26页 |
| ·脉冲激光沉积法(Pulsed Laser Deposition，PLD) | 第16-18页 |
| ·化学气相沉积法(Chemical Vapor Deposition, CVD) | 第18-19页 |
| ·溶胶-凝胶法(Sol-Gel) | 第19-21页 |
| ·磁控溅射法(Magnetron Sputtering) | 第21-22页 |
| ·分子束外延(Molecular Beam Epitaxy, MBE) | 第22-25页 |
| ·电子束蒸发(Electron Beam Evaporation, EBE） | 第25-26页 |
| ·本论文的研究目的和主要工作 | 第26-28页 |
| 第三章 超声喷雾热解法制备MgO薄膜及其表征方法 | 第28-37页 |
| ·设备简介及实验原理 | 第28-31页 |
| ·超声喷雾热解简介 | 第28页 |
| ·超声喷雾热解原理 | 第28-30页 |
| ·超声喷雾热解特点 | 第30页 |
| ·超声喷雾热解实验系统 | 第30-31页 |
| ·MgO薄膜的制备过程 | 第31-33页 |
| ·实验药品 | 第31页 |
| ·前驱液的配置及衬底清洗 | 第31-32页 |
| ·实验样品的制备 | 第32-33页 |
| ·MgO薄膜的测试表征方法 | 第33-36页 |
| ·X射线衍射仪(XRD) | 第33-34页 |
| ·扫描电子显微镜(SEM) | 第34页 |
| ·紫外可见分光光度计（UV-VIS） | 第34-36页 |
| ·本章小结 | 第36-37页 |
| 第四章 衬底温度对MgO薄膜性能的影响 | 第37-44页 |
| ·XRD分析 | 第37-40页 |
| ·SEM表面形貌分析 | 第40-41页 |
| ·紫外-可见光谱分析 | 第41-42页 |
| ·MgO成膜机理分析 | 第42-43页 |
| ·本章小结 | 第43-44页 |
| 第五章 退火处理对MgO薄膜的结构和形貌的影响 | 第44-52页 |
| ·MgO薄膜退火处理 | 第44-46页 |
| ·XRD分析 | 第46-48页 |
| ·SEM表面形貌分析 | 第48-50页 |
| ·本章小结 | 第50-52页 |
| 第六章 总结 | 第52-53页 |
| 参考文献 | 第53-56页 |
| 附录1 攻读硕士学位期间撰写的论文 | 第56-57页 |
| 附录2 攻读硕士学位期间参加的科研项目 | 第57-58页 |
| 致谢 | 第58页 |
