| 中文摘要 | 第1-6页 |
| Abstract | 第6-10页 |
| 第一章 序言 | 第10-21页 |
| ·等离子体简介 | 第10-11页 |
| ·低气压等离子体放电类型 | 第11-15页 |
| ·电子回旋共振等离子体 | 第11-12页 |
| ·螺旋波等离子体 | 第12页 |
| ·感应耦合等离子体 | 第12-13页 |
| ·容性耦合等离子体 | 第13-15页 |
| ·低温低气压等离子体的应用 | 第15页 |
| ·容性耦合等离子体的朗缪尔探针诊断近况 | 第15-19页 |
| ·本文研究的意义和主要内容 | 第19-21页 |
| 第二章 40.68MHz激发的容性耦合等离子体实验装置及诊断技术 | 第21-27页 |
| ·40.68MHz激发的容性耦合等离子体实验装置 | 第21-22页 |
| ·朗缪尔静电探针诊断技术 | 第22页 |
| ·数据处理方法 | 第22-27页 |
| ·EEDF积分法 | 第22-24页 |
| ·常规方法 | 第24页 |
| ·轨道运动限制理论 | 第24-25页 |
| ·蔡尔德定律 | 第25-26页 |
| ·导数法 | 第26-27页 |
| 第三章 40.68MHz激发的容性耦合Ar等离子体诊断研究 | 第27-44页 |
| ·放电气压和射频功率对容性耦合氩等离子体参数的影响 | 第27-30页 |
| ·放电气压和射频功率对容性耦合氩等离子体空间分布的影响 | 第30-34页 |
| ·不同极板间距对氩等离子体参数的影响 | 第34-39页 |
| ·电子饱和电流方法（ES）计算的电子温度和密度的实验结果 | 第39-44页 |
| 第四章 40.68MHz激发的容性耦合电负性等离子体特性诊断 | 第44-58页 |
| ·掺5%O_2容性耦合Ar等离子体参数测量 | 第44-52页 |
| ·放电气压和射频功率对掺 5%O2容性耦合Ar等离子体参数的影响 | 第44-47页 |
| ·放电气压和功率对掺 5%O2容性耦合Ar等离子体空间分布的影响 | 第47-49页 |
| ·极板间距对掺 5%O2容性耦合Ar等离子体参数的影响 | 第49-52页 |
| ·掺10%O_2容性耦合Ar等离子体参数测量 | 第52-58页 |
| ·放电气压和射频功率对掺 10%O2容性耦合Ar等离子体参数的影响 | 第52-53页 |
| ·放电气压和射频功率对掺 10%O2容性耦合等离子体空间分布的影响 | 第53-55页 |
| ·极板间距对掺 10%O2容性耦合Ar等离子体参数的影响 | 第55-58页 |
| 第五章 结论 | 第58-60页 |
| 参考文献 | 第60-67页 |
| 攻读硕士期间公开发表的论文和专利 | 第67-68页 |
| 致谢 | 第68-69页 |
