| 摘要 | 第1-6页 |
| Abstract | 第6-10页 |
| 1.绪论 | 第10-20页 |
| ·课题的研究背景和意义 | 第10-12页 |
| ·国内外研究现状 | 第12-17页 |
| ·本课题主要研究内容 | 第17-20页 |
| 2.基于Parylene的仿海豹胡须式封装 | 第20-33页 |
| ·仿海豹胡须式封装设计 | 第20-22页 |
| ·声压梯度特性分析 | 第22-26页 |
| ·Parylene封装对灵敏度和谐振频率影响分析 | 第26-32页 |
| ·Parylene封装对灵敏度影响分析 | 第27-28页 |
| ·Parylene封装对谐振频率影响分析 | 第28-29页 |
| ·Parylene薄膜疏水性对水听器谐振频率的影响机理 | 第29-32页 |
| ·本章总结 | 第32-33页 |
| 3.“棒棒糖式”高灵敏度结构 | 第33-44页 |
| ·“棒棒糖式”高灵敏度微结构设计 | 第33-35页 |
| ·微结构灵敏度分析 | 第35-39页 |
| ·频带分析 | 第39-43页 |
| ·本章总结 | 第43-44页 |
| 4.Parylene封装的“棒棒糖式”MEMS矢量水听器的制备 | 第44-54页 |
| ·“棒棒糖式”微结构 | 第44-48页 |
| ·Parylene薄膜封装 | 第48-53页 |
| ·本章总结 | 第53-54页 |
| 5.Parylene封装的“棒棒糖式”MEMS矢量水听器测试 | 第54-66页 |
| ·Parylene封装对于频率特性的优化 | 第54-60页 |
| ·谐振频率 | 第54-57页 |
| ·灵敏度-频率响应 | 第57-60页 |
| ·“棒棒糖式”高灵敏度结构测试 | 第60-63页 |
| ·谐振频率 | 第61页 |
| ·矢量水听器校准测试 | 第61-63页 |
| ·绝缘特性和耐压测试 | 第63-65页 |
| ·绝缘特性 | 第63-64页 |
| ·耐压测试 | 第64-65页 |
| ·本章小结 | 第65-66页 |
| 6.总结与展望 | 第66-69页 |
| ·工作总结 | 第66-67页 |
| ·论文创新点 | 第67页 |
| ·工作展望 | 第67-69页 |
| 参考文献 | 第69-76页 |
| 附录I 符号表 | 第76-78页 |
| 攻读硕士期间发表的论文及所取得的研究成果 | 第78-79页 |
| 致谢 | 第79-80页 |
