石英摆片设计与化学腐蚀加工技术
| 摘要 | 第1-6页 |
| Abstract | 第6-10页 |
| 第1章 绪论 | 第10-17页 |
| ·课题背景 | 第10-11页 |
| ·国内外研究和发展现状 | 第11-15页 |
| ·石英摆片加工技术国内外现状 | 第11-13页 |
| ·石英摆片检测技术国内外现状 | 第13-15页 |
| ·论文的主要研究内容及意义 | 第15-17页 |
| ·论文的主要内容 | 第15页 |
| ·课题研究的意义 | 第15-17页 |
| 第2章 石英挠性加速度计 | 第17-33页 |
| ·石英挠性加速度计概述 | 第17-19页 |
| ·结构组成 | 第17-18页 |
| ·工作原理 | 第18-19页 |
| ·石英挠性加速度计的优点 | 第19页 |
| ·石英挠性加速度计动态力学方程 | 第19-23页 |
| ·石英挠性加速度计静态数学模型 | 第23-28页 |
| ·石英摆片 | 第28-32页 |
| ·石英材料 | 第28-29页 |
| ·石英摆片的设计 | 第29-30页 |
| ·石英摆片的载荷计算 | 第30-32页 |
| ·本章小结 | 第32-33页 |
| 第3章 石英摆片有限元分析 | 第33-42页 |
| ·有限元分析方法 | 第33-34页 |
| ·静力分析和模态分析 | 第34-35页 |
| ·静力分析 | 第34页 |
| ·模态分析 | 第34-35页 |
| ·石英摆片静力分析 | 第35-39页 |
| ·模型建立和网格划分 | 第35-36页 |
| ·施加载荷 | 第36页 |
| ·挠性梁厚度对石英摆片应力场和变形的影响 | 第36-39页 |
| ·石英摆片模态分析 | 第39-41页 |
| ·本章小结 | 第41-42页 |
| 第4章 石英摆片化学腐蚀方法 | 第42-56页 |
| ·石英摆片化学腐蚀原理 | 第42-47页 |
| ·氢氟酸溶液特征 | 第42-44页 |
| ·石英材料的表面特征 | 第44-45页 |
| ·反应机理与分子模型 | 第45-47页 |
| ·化学腐蚀加工试验过程 | 第47-53页 |
| ·腐蚀液的选择 | 第47-48页 |
| ·保护层及设备的选择 | 第48-52页 |
| ·化学腐蚀加工的过程控制 | 第52页 |
| ·石英摆片挠性梁厚度的测量方法 | 第52-53页 |
| ·化学腐蚀加工试验结果分析 | 第53-55页 |
| ·本章小结 | 第55-56页 |
| 第5章 石英摆片下垂量检测技术 | 第56-63页 |
| ·石英摆片下垂量 | 第56-58页 |
| ·石英摆片的下垂量的概念 | 第56页 |
| ·石英摆片下垂量的计算 | 第56-58页 |
| ·下垂量检测原理及方法 | 第58-59页 |
| ·计算机视觉检测技术 | 第58-59页 |
| ·下垂量检测系统总体设计 | 第59页 |
| ·下垂量检测装置及结构 | 第59-60页 |
| ·检测装置原理 | 第59页 |
| ·检测装置平台实物 | 第59-60页 |
| ·下垂量检测实验与结果分析 | 第60-62页 |
| ·本章小结 | 第62-63页 |
| 第6章 结论与展望 | 第63-65页 |
| ·回顾与总结 | 第63-64页 |
| ·今后展望 | 第64-65页 |
| 致谢 | 第65-66页 |
| 参考文献 | 第66-69页 |
| 附录 | 第69页 |
