| 摘要 | 第1-6页 |
| Abstract | 第6-11页 |
| 第1章 绪论 | 第11-21页 |
| ·钛酸锶钡(BA_XSR_(1-X)TIO_3、BST)及其储能性能 | 第11-12页 |
| ·BST 储能材料体系的选择 | 第12-14页 |
| ·BST 介质薄膜的制备方法 | 第14-17页 |
| ·叠层复合薄膜的思路及其研究现状 | 第17-19页 |
| ·本论文研究的目的和意义 | 第19-21页 |
| 第2章 叠层复合薄膜的制备方法与性能表征 | 第21-37页 |
| ·薄膜制备方法 | 第21-22页 |
| ·制备原理 | 第22页 |
| ·正硅酸四乙酯水解聚合原理 | 第22-25页 |
| ·催化剂的影响 | 第23-24页 |
| ·酸的种类的影响 | 第24页 |
| ·温度的影响 | 第24页 |
| ·溶剂种类的影响 | 第24-25页 |
| ·烷氧基基团的影响 | 第25页 |
| ·实验原料及设备 | 第25-26页 |
| ·叠层复合薄膜的制备工艺 | 第26-33页 |
| ·BST 和 Ba-Al-B-Si 前驱体的制备 | 第27-28页 |
| ·基片的选取 | 第28-29页 |
| ·基片的清洗 | 第29-30页 |
| ·旋涂工艺 | 第30-31页 |
| ·薄膜的热处理 | 第31-33页 |
| ·结构分析方法 | 第33-37页 |
| ·X 射线衍射分析(XRD) | 第33-34页 |
| ·扫描电镜分析(SEM)和场发射扫描电子显微镜分析(FESEM) | 第34页 |
| ·原子力显微镜分析(AFM) | 第34-35页 |
| ·介电性能测试 | 第35页 |
| ·耐压性能测试 | 第35-37页 |
| 第3章 Ba-Al-B-Si/Ba_(0.3)Sr_(0.7)TiO_3叠层复合结构的形成 | 第37-53页 |
| ·BA_(0.3)SR_(0.7)TIO_3前驱体的制备 | 第37-42页 |
| ·pH 值对 BST 前驱体粉体物相的影响 | 第39-40页 |
| ·乙酰丙酮的加入量对 BST 前驱体粉体物相的影响 | 第40页 |
| ·DMF 加入量对 BST 前驱体粉体物相的影响 | 第40-41页 |
| ·BST 前驱体粉体的显微形貌 | 第41-42页 |
| ·BA-AL-B-SI 玻璃前驱体的制备 | 第42-47页 |
| ·玻璃组分对玻璃物相结构的影响 | 第42-46页 |
| ·pH 值对 Ba-Al-B-Si 前驱体粉体物相的影响 | 第46-47页 |
| ·BA-AL-B-SI/BA_(0.30SR_(0.7)TIO_3叠层薄膜的制备 | 第47-52页 |
| ·BST 薄膜物相表征 | 第49-50页 |
| ·Ba-Al-B-Si 玻璃薄膜物相表征 | 第50-51页 |
| ·Ba-Al-B-Si/Ba_(0.3)Sr_(0.7)TiO_3叠层薄膜物相表征 | 第51-52页 |
| ·小结 | 第52-53页 |
| 第4章 薄膜显微形貌与介电性能 | 第53-68页 |
| ·显微结构表征及分析 | 第53-57页 |
| ·AFM 薄膜表面形貌分析 | 第53-55页 |
| ·SEM 表征薄膜显微结构 | 第55-57页 |
| ·薄膜介电性能结果与分析 | 第57-60页 |
| ·薄膜的漏电性能 | 第60-62页 |
| ·储能性能结果与分析 | 第62-63页 |
| ·耐击穿性能结果与分析 | 第63-64页 |
| ·改进工艺后 BA-AL-B-SI/BA_(0.3)SR_(0.7)TIO_3叠层复合薄膜性能结果与分析 | 第64-68页 |
| ·改进后的合成工艺 | 第64页 |
| ·改进工艺后薄膜的物相结构分析 | 第64-65页 |
| ·改进工艺后的薄膜显微结构分析 | 第65-66页 |
| ·改进工艺后的叠层复合薄膜的介电性能分析 | 第66-67页 |
| ·小结 | 第67-68页 |
| 第5章 结论 | 第68-69页 |
| 第6章 展望 | 第69-70页 |
| 致谢 | 第70-71页 |
| 参考文献 | 第71-75页 |
