多晶硅表面超声驻波制绒方法研究

摘要	第1-6页
ABSTRACT	第6-10页
第1章 绪论	第10-18页
·引言	第10页
·多晶硅表面织构化	第10-13页
·多晶硅化学腐蚀制绒改进技术	第13-17页
·多晶硅新腐蚀溶液	第13-14页
·优化反应条件	第14-16页
·加入辅助反应的物质	第16页
·改善腐蚀工艺	第16-17页
·本文的研究内容及意义	第17-18页
第2章 超声驻波粒子控制方法与驻波微加工机理	第18-29页
·声波的描述及声压	第18-19页
·理想流体介质的三个基本声学方程	第19-22页
·一维超声驻波场中粒子运动模型	第22-26页
·平面驻波场对球形粒子的声辐射力	第23-24页
·流体介质中的粘滞阻力	第24-25页
·虚拟质量力	第25页
·驻波场中粒子的运动模型	第25-26页
·二维超声驻波场中粒子运动模型	第26-27页
·多晶硅超声驻波微加工机理	第27-28页
·本章小结	第28-29页
第3章 超声驻波场控制粒子运动模拟	第29-50页
·一维驻波场中粒子运动模拟	第29-46页
·超声频率对粒子运动的影响	第29-34页
·声压幅值对粒子运动的影响	第34-36页
·粒子半径对粒子运动的影响	第36-41页
·颗粒低频振动的影响因素	第41-46页
·二维驻波场中粒子运动模拟	第46-47页
·二维驻波场的声势阱模拟	第47-49页
·本章小结	第49-50页
第4章 多晶硅超声驻波微加工试验研究	第50-59页
·超声驻波控制微粒实验	第50-54页
·实验仪器与设备	第50-51页
·空气中较大颗粒控制实验	第51-53页
·水中的微小颗粒控制实验	第53-54页
·多晶硅超声驻波腐蚀试验	第54-58页
·腐蚀时间的优化	第55-56页
·超声驻波腐蚀试验	第56-58页
·本章小结	第58-59页
第5章 总结与展望	第59-61页
·主要结论	第59-60页
·研究展望	第60-61页
致谢	第61-62页
参考文献	第62-65页
附录	第65页