| 摘要 | 第1-5页 |
| Abstract | 第5-10页 |
| 第一章 绪论 | 第10-20页 |
| ·引言 | 第10-11页 |
| ·飞秒激光简介 | 第11-13页 |
| ·长脉冲激光与物质相互作用 | 第12页 |
| ·飞秒激光与物质相互作用 | 第12-13页 |
| ·激光微纳加工技术简介 | 第13-16页 |
| ·激光诱导烧蚀技术 | 第14页 |
| ·激光直接刻写技术 | 第14-15页 |
| ·激光干涉扫描技术 | 第15-16页 |
| ·激光脉冲对加工技术 | 第16页 |
| ·飞秒激光微纳加工的研究现状及潜在应用 | 第16-19页 |
| ·实现抗反射表面改性 | 第17页 |
| ·改变表面润湿特征 | 第17-18页 |
| ·提高加工表面分辨率 | 第18页 |
| ·改善发光性能 | 第18-19页 |
| ·本文的研究目的与内容 | 第19-20页 |
| 第二章 飞秒激光诱导固体表面微纳结构的物理机理 | 第20-31页 |
| ·静态飞秒激光束烧蚀靶材产生微纳结构 | 第20-24页 |
| ·飞秒激光与金属相互作用理论模型 | 第20-23页 |
| ·飞秒激光与半导体和介质相互作用理论 | 第23-24页 |
| ·飞秒激光诱导材料表面类光栅周期性结构的机理及实验研究 | 第24-26页 |
| ·诱导类光栅周期性结构产生的表面散射波模型 | 第24-25页 |
| ·静态飞秒激光诱导 Ag、Cu 表面类光栅结构实验过程 | 第25-26页 |
| ·静态飞秒激光诱导 Ag、Cu 表面类光栅结构表征与分析 | 第26-30页 |
| ·激光正入射诱导 Ag、Cu 表面类光栅结构分析 | 第26-29页 |
| ·激光斜入射诱导 Ag、Cu 表面类光栅结构分析 | 第29-30页 |
| ·本章小结 | 第30-31页 |
| 第三章 单束飞秒激光扫描制备类光栅周期性结构 | 第31-47页 |
| ·引言 | 第31页 |
| ·动态激光束烧蚀靶材产生微纳结构的能量累积效应 | 第31-34页 |
| ·飞秒激光单线扫描时能量分布模型 | 第31-33页 |
| ·扫描速度的影响 | 第33-34页 |
| ·飞秒激光单线扫描诱导靶材表面类光栅结构表征与分析 | 第34-46页 |
| ·实验装置及过程简介 | 第34-36页 |
| ·飞秒激光单线扫描诱导 Ag、Cu 等金属表面类光栅结构表征与分析 | 第36-40页 |
| ·金属及半导体表面刻写光栅结构的表面光学性能研究 | 第40-46页 |
| ·本章小结 | 第46-47页 |
| 第四章 多束飞秒激光扫描制备大面积规整类光栅结构初探 | 第47-52页 |
| ·多束激光同时扫描理论模型 | 第47-50页 |
| ·多束激光同时扫描时激光能量分布模型 | 第47-48页 |
| ·扫描束间距的选取 | 第48-49页 |
| ·飞秒激光能量密度的选取 | 第49-50页 |
| ·实验光路设计 | 第50-52页 |
| ·双光束呈轴对称斜入射靶材表面 | 第50页 |
| ·双光束垂直入射靶材表面 | 第50-52页 |
| 第五章 总结与展望 | 第52-55页 |
| ·总结 | 第52-53页 |
| ·本文创新之处及展望 | 第53-55页 |
| 致谢 | 第55-56页 |
| 参考文献 | 第56-65页 |
| 附录1 硕士研究生期间完成论文情况 | 第65页 |
