RF MEMS谐振器研究
| 摘要 | 第1-6页 |
| ABSTRACT | 第6-10页 |
| 第一章 绪论 | 第10-14页 |
| ·MEMS 介绍 | 第10页 |
| ·RF MEMS 介绍 | 第10-11页 |
| ·RF MEMS 谐振器 | 第11-13页 |
| ·RF MEMS 谐振器的介绍 | 第11-12页 |
| ·RF MEMS 谐振器的应用 | 第12-13页 |
| ·本论文主要工作 | 第13-14页 |
| 第二章 减小缝隙的新型移动电极 | 第14-30页 |
| ·背景及原理 | 第14-18页 |
| ·减小缝隙的常用方法 | 第15-16页 |
| ·具有扣锁结构的移动电极 | 第16-18页 |
| ·具体设计方法 | 第18-25页 |
| ·移动梁 1 的设计及所需要的制动电压 | 第20-22页 |
| ·梁 3 的影响以及加在振动方块上的电压的选取 | 第22-25页 |
| ·仿真结果 | 第25-28页 |
| ·SOI 工艺流程 | 第28-29页 |
| ·本章小结 | 第29-30页 |
| 第三章 减小锚点损耗的十字支撑结构 | 第30-41页 |
| ·静电 MEMS 谐振器的 Q 值 | 第30-33页 |
| ·空气阻尼 | 第31-32页 |
| ·锚点损耗 | 第32页 |
| ·热弹性阻尼 | 第32-33页 |
| ·十字支撑结构设计 | 第33-40页 |
| ·原理与结构 | 第33-34页 |
| ·锚点损耗仿真方法 | 第34-36页 |
| ·仿真结果 | 第36-40页 |
| ·本章小结 | 第40-41页 |
| 第四章 MEMS 谐振器建模及非线性特性研究 | 第41-55页 |
| ·MEMS 谐振器的电路等效模型 | 第41-46页 |
| ·基于等效质量的等效模型 | 第41-43页 |
| ·基于等效刚度的等效模型 | 第43-45页 |
| ·两种方法的仿真对比 | 第45-46页 |
| ·MEMS 谐振器的非线性 | 第46-54页 |
| ·MEMS 谐振器中 A-f 效应的分类 | 第47-48页 |
| ·MEMS 谐振器机械 A-f 效应的仿真 | 第48-54页 |
| ·本章小结 | 第54-55页 |
| 第五章 工艺流程及版图 | 第55-63页 |
| ·工艺流程 | 第55-56页 |
| ·设计尺寸及版图 | 第56-62页 |
| ·圆环谐振器 | 第56-58页 |
| ·圆盘谐振器 | 第58-59页 |
| ·方块谐振器 | 第59-62页 |
| ·本章小结 | 第62-63页 |
| 第六章 结束语 | 第63-65页 |
| ·研究结论 | 第63-64页 |
| ·工作展望 | 第64-65页 |
| 致谢 | 第65-66页 |
| 参考文献 | 第66-71页 |
| 攻硕期间取得的研究成果 | 第71-72页 |
