硅基仿生自清洁表面的制备及其润湿特性的研究
| 摘要 | 第1-9页 |
| Abstract | 第9-11页 |
| 第1章 绪论 | 第11-22页 |
| ·纳米技术与纳米制造 | 第11-12页 |
| ·仿生微纳结构的制备思想 | 第12-17页 |
| ·荷叶效应 | 第12-16页 |
| ·猪笼草效应 | 第16-17页 |
| ·蚀刻技术 | 第17-20页 |
| ·化学湿法蚀刻技术 | 第18页 |
| ·干法蚀刻技术 | 第18-20页 |
| ·本论文研究背景与意义 | 第20页 |
| ·本论文研究的主要内容 | 第20-22页 |
| 第2章 实验原理、方法与仪器 | 第22-29页 |
| ·基底表面粗糙化的制备机理 | 第22-23页 |
| ·试验所用仪器与设备 | 第23-27页 |
| ·真空紫外光刻/表面处理装置 | 第23-24页 |
| ·扫描电子显微镜 | 第24页 |
| ·原子力显微镜 | 第24-26页 |
| ·动态接触角测量仪 | 第26页 |
| ·离子溅射仪 | 第26-27页 |
| ·实验所用到的试剂 | 第27-29页 |
| 第3章 多孔隙硅基双疏表面的制备 | 第29-46页 |
| ·制备原理与过程 | 第29-30页 |
| ·样品形貌分析 | 第30-33页 |
| ·参数对薄膜润湿性的影响 | 第33-40页 |
| ·基底成分对表面润湿性的影响 | 第33-35页 |
| ·蚀刻时间和蚀刻液浓度对表面润湿性的影响 | 第35-40页 |
| ·薄膜表面改性及热处理探究 | 第40-43页 |
| ·薄膜的 AFM 表征 | 第43-44页 |
| ·本章小结 | 第44-46页 |
| 第4章 滑动多孔隙表面 SLIPS 的制备 | 第46-57页 |
| ·实验步骤与过程 | 第47页 |
| ·SLIPS 表面动态润湿性分析 | 第47-53页 |
| ·预浸润液体种类对表面形貌的影响 | 第53-55页 |
| ·本章小结 | 第55-57页 |
| 第5章 基于荷叶表面的多级复合微结构的制备 | 第57-65页 |
| ·仿荷叶表面制备思想与制备过程 | 第57-58页 |
| ·实验结果分析 | 第58-63页 |
| ·表面形貌分析 | 第58-59页 |
| ·薄膜表面的润湿性分析 | 第59-63页 |
| ·本章小结 | 第63-65页 |
| 第6章 铝基表面的简易双疏处理工艺探讨 | 第65-72页 |
| ·化学湿法蚀刻制备 Al 基疏水薄膜 | 第65-67页 |
| ·实验原理与实验过程 | 第65-66页 |
| ·实验结果分析 | 第66-67页 |
| ·热生长法制备 Al 基双疏薄膜 | 第67-71页 |
| ·实验原理与实验过程 | 第67-68页 |
| ·实验结果分析 | 第68-71页 |
| ·本章小结 | 第71-72页 |
| 结论 | 第72-74页 |
| 参考文献 | 第74-78页 |
| 攻读硕士学位期间完成的学术论文及成果 | 第78-79页 |
| 致谢 | 第79页 |
