| 中文摘要 | 第1-6页 |
| Abstract | 第6-10页 |
| 第1章 绪论 | 第10-16页 |
| ·光开关的研究意义和分类 | 第10-12页 |
| ·光开关的研究进展 | 第12-15页 |
| ·本论文主要工作和创新点 | 第15-16页 |
| 第2章 聚合物平面波导光开关的原理 | 第16-25页 |
| ·矩形光波导有效折射率的理论计算 | 第16-22页 |
| ·非对称三层平板波导的有效折射率 | 第16-20页 |
| ·矩形波导的有效折射率 | 第20-22页 |
| ·MZI 型聚合物平面波导热光开关的原理 | 第22-23页 |
| ·MZI 型聚合物平面波导电光开关的原理 | 第23-25页 |
| 第3章 低功耗聚合物热光开关的制备和测试 | 第25-39页 |
| ·Polymer/SiO_2混合波导结构热光开关的制备和测试 | 第25-29页 |
| ·器件结构和材料体系 | 第25-27页 |
| ·制备工艺 | 第27-28页 |
| ·性能测试 | 第28-29页 |
| ·低功耗聚合物热光开关的尺寸优化 | 第29-32页 |
| ·器件优化 | 第30页 |
| ·器件制备 | 第30-31页 |
| ·性能测试 | 第31-32页 |
| ·空气隔离槽结构低功耗热光开关的制备和测试 | 第32-36页 |
| ·空气隔离槽结构 | 第32-33页 |
| ·光场和热场模拟分析 | 第33-34页 |
| ·制备工艺 | 第34-36页 |
| ·性能测试 | 第36页 |
| ·650 nm 波长聚合物热光开关 | 第36-39页 |
| ·研究意义 | 第37页 |
| ·性能测试 | 第37-39页 |
| 第4章 极化聚合物电光开关的制备和测试 | 第39-51页 |
| ·波导制备工艺的优化——ICP 刻蚀技术 | 第39-44页 |
| ·反应离子刻蚀对波导形貌的研究 | 第39-41页 |
| ·感应耦合等离子体刻蚀对波导形貌的优化研究 | 第41-44页 |
| ·非线性极化聚合物研究 | 第44-46页 |
| ·基于 DR1/PMMA 的电光开关的制备和测试 | 第46-48页 |
| ·器件结构和制备 | 第46-47页 |
| ·性能测试 | 第47-48页 |
| ·基于 DR1/PMMA 的包层调制电光开关的制备和测试 | 第48-51页 |
| ·器件结构和制备 | 第48-49页 |
| ·性能测试 | 第49-51页 |
| 第5章 结论与展望 | 第51-52页 |
| 参考文献 | 第52-54页 |
| 攻读学位期间发表的学术论文及取得的科研成果 | 第54-55页 |
| 致谢 | 第55页 |