基于NOA材料的柔性热光开关器件的研究

摘要	第1-6页
Abstract	第6-10页
第一章 绪论	第10-15页
·柔性热光器件的研究目的和意义	第10-11页
·柔性器件的研究进展	第11-12页
·柔性热光器件的材料分类	第12-14页
·柔性器件的材料分类	第12-13页
·热光开关器件的材料分类	第13-14页
·本论文的主要工作	第14-15页
第二章 紫外固化聚合物 NOA 材料的表征	第15-24页
·NOA 材料的特性	第15-16页
·NOA 材料的成膜性研究	第16-19页
·NOA 材料的折射率表征	第19-20页
·NOA 材料的 ICP 刻蚀条件研究	第20-24页
第三章 硅基 NOA 热光开关的制备与测试	第24-30页
·脊形波导器件的制备与测试	第24-26页
·硅基热光开关的制备与测试	第26-30页
第四章 柔性热光开关器件的制备与测试	第30-47页
·纳米压印模板的设计与制备	第30-32页
·硅模板	第30-31页
·SU8 模板	第31-32页
·柔性倒脊形波导器件的制备	第32-34页
·柔性器件的端面处理	第34-40页
·划片机解理	第34-36页
·ICP 刻蚀解理	第36-37页
·激光解理	第37-40页
·柔性电极的制备与测试	第40-42页
·柔性热光开关器件的制备与测试	第42-47页
第五章 总结	第47-48页
参考文献	第48-51页
个人简介及科研成果	第51-52页
致谢	第52页