多频等离子体放电的实验研究
| 中文摘要 | 第1-6页 |
| Abstract | 第6-12页 |
| 第一章 引言 | 第12-30页 |
| ·引言 | 第12-13页 |
| ·等离子体和真空 | 第13-14页 |
| ·等离子体介绍 | 第13页 |
| ·真空及其分类 | 第13-14页 |
| ·真空的获得 | 第14-15页 |
| ·机械泵 | 第14页 |
| ·涡轮分子泵 | 第14-15页 |
| ·升华泵和低温冷凝泵 | 第15页 |
| ·真空的测量 | 第15-16页 |
| ·热偶真空计和热阻真空计 | 第15页 |
| ·电离真空计 | 第15-16页 |
| ·薄膜真空计 | 第16页 |
| ·几种常见放电方式 | 第16-22页 |
| ·感性耦合等离子体源 | 第16-18页 |
| ·容性耦合等离子体源 | 第18-20页 |
| ·螺旋波等离子体源 | 第20-21页 |
| ·电子回旋共振等离子体源 | 第21-22页 |
| ·ICP 源的形式 | 第22-25页 |
| ·两种常见形式 | 第22-23页 |
| ·浸入式线圈 | 第23-25页 |
| ·本论文工作的意义及主要内容 | 第25-26页 |
| 参考文献 | 第26-30页 |
| 第二章 实验装置和诊断设备 | 第30-43页 |
| ·实验装置 | 第30-32页 |
| ·郎缪尔探针 | 第32-38页 |
| ·郎缪尔探针原理 | 第33-35页 |
| ·郎缪尔探针结构及配置 | 第35-36页 |
| ·数据处理 | 第36-38页 |
| ·示波器系统 | 第38-40页 |
| ·示波器 | 第38页 |
| ·高压探针 | 第38-39页 |
| ·电流感应器 | 第39-40页 |
| ·光纤光谱仪 | 第40-43页 |
| 第三章 示波器对等离子体的研究 | 第43-50页 |
| ·射频电源的匹配 | 第43-46页 |
| ·气压对线圈电流波形的影响 | 第46-47页 |
| ·气压对线圈电压、线圈电流的影响 | 第47-48页 |
| ·本章小结 | 第48-49页 |
| 参考文献 | 第49-50页 |
| 第四章 气压对放电特性的影响 | 第50-59页 |
| ·气压对等离子体特征参量的影响 | 第50-52页 |
| ·气压对 EEPF 的影响 | 第52-55页 |
| ·气压对光强的影响 | 第55-56页 |
| ·本章小结 | 第56-58页 |
| 参考文献 | 第58-59页 |
| 第五章 功率对等离子体的影响 | 第59-69页 |
| ·电子密度随径向位置的变化情况 | 第59-60页 |
| ·ICP 功率对 EEPF 的影响 | 第60-62页 |
| ·ICP 功率对等离子体电势和电子密度的影响 | 第62-63页 |
| ·ICP 功率和低频功率对电子能量的影响 | 第63-64页 |
| ·功率对刻蚀效果的影响 | 第64-67页 |
| ·低频功率对刻蚀效果的影响 | 第65页 |
| ·高频功率对刻蚀效果的影响 | 第65-66页 |
| ·增加 ICP 功率前后对刻蚀效果的影响 | 第66-67页 |
| ·本章小结 | 第67-68页 |
| 参考文献 | 第68-69页 |
| 第六章 结论 | 第69-71页 |
| 攻读硕士学位期间公开发表的论文 | 第71-72页 |
| 致谢 | 第72-73页 |
