雕塑薄膜的镀制及其特性研究

摘要	第1-4页
Abstract	第4-7页
1 绪论	第7-13页
·引言	第7页
·雕塑薄膜的发展	第7-11页
·雕塑薄膜的制备方法	第7-9页
·雕塑薄膜的理论计算	第9-11页
·国内外现状	第11-12页
·本文的研究内容	第12-13页
2 雕塑薄膜生长理论	第13-21页
·一般薄膜生长过程	第13-17页
·蒸汽分子的吸附过程	第13-14页
·成核过程	第14页
·薄膜生长过程	第14-17页
·雕塑薄膜生长	第17-20页
·阴影效应和再发射效应	第17-18页
·蒙特卡洛模型	第18-19页
·不同基片旋转下的雕塑薄膜	第19-20页
·本章小结	第20-21页
3 雕塑薄膜的等效折射率理论	第21-26页
·各向同性薄膜的等效折射率理论	第21-22页
·雕塑薄膜等效折射率模型	第22-25页
·本章小结	第25-26页
4 雕塑薄膜的制备	第26-35页
·雕塑薄膜的制备方法	第26-27页
·在空白的K9基片上沉积	第26-27页
·在预成型的基片上沉积雕塑薄膜	第27页
·实验仪器的介绍	第27-29页
·工艺参数对雕塑薄膜的影响	第29-33页
·实验方案的介绍	第29-30页
·结果的分析	第30-33页
·小结	第33-35页
5 雕塑薄膜的测量与结果分析	第35-49页
·雕塑薄膜的椭偏分析	第35-46页
·椭偏法测量原理	第35-36页
·椭偏仪VASE测量分析薄膜	第36-46页
·雕塑薄膜的牢固性测试	第46-47页
·雕塑薄膜的应力	第47页
·薄膜的机械强度	第47页
·总结	第47-49页
致谢	第49-50页
参考文献	第50-52页