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功能TiO2薄膜材料的制备及其性能研究

摘要第1-5页
Abstract第5-10页
第一章 绪论第10-17页
   ·引言第10页
   ·Ti0_2 材料的结构和光催化原理第10-14页
     ·Ti0_2晶体结构第10-11页
     ·半导体材料的能带结构第11-12页
     ·Ti0_2材料的光催化原理第12-14页
   ·Ti0_2 材料的应用第14-16页
     ·气敏传感器第14页
     ·光电器件第14-15页
     ·光催化剂第15-16页
   ·本文主要安排第16-17页
第二章 Ti0_2薄膜材料的制备方法及其研究现状第17-23页
   ·薄膜材料的制备方法第17-20页
     ·真空蒸发第17页
     ·分子束外延法(MBE)第17-18页
     ·脉冲激光沉积(PLD)第18页
     ·磁控溅射法第18-19页
     ·溶胶凝胶法(Sol-Gel)第19页
     ·化学气相沉积(CVD)第19-20页
   ·Ti0_2 材料的研究现状第20-22页
     ·当前制备技术存在的问题第20-21页
     ·Ti0_2光催化机理研究第21页
     ·Ti0_2气敏性能研究第21页
     ·染料敏化太阳能电池的研究(DSSC)第21-22页
   ·本章小结第22-23页
第三章 Ti0_2薄膜制备和薄膜退火处理第23-30页
   ·PLD 方法制备Ti0_2薄膜第23-26页
     ·PLD 设备简介第23-24页
     ·基片的清洗第24页
     ·薄膜制备的实验参数第24页
     ·脉冲激光沉积制备薄膜的过程第24-26页
   ·Ti0_2 薄膜退火处理第26-29页
     ·退火炉简介第26-27页
     ·温度控制器第27-28页
     ·样品的退火过程第28-29页
   ·本章小结第29-30页
第四章 退火Ti0_2薄膜材料的结构形貌及光学性能第30-39页
   ·Ti0_2 薄膜材料的结构分析第30-33页
     ·X 射线衍射(XRD)第30-31页
     ·退火对Ti0_2 薄膜结构的影响第31-33页
   ·退火温度对Ti0_2 薄膜形貌特征的影响第33-37页
     ·原子力显微镜(AFM)第33-34页
     ·原子力显微镜测定Ti0_2 薄膜形貌第34-37页
   ·退火对Ti0_2 薄膜晶体粒径的影响第37-38页
   ·Ti0_2 薄膜光学性能第38-39页
     ·光谱仪第38页
     ·Ti0_2 薄膜的光学性能第38-39页
第五章 结论第39-41页
   ·本文的主要内容第39页
   ·不足和展望第39-41页
参考文献第41-46页
致谢第46-47页
在学期间的研究成果及发表的学术论文第47页

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