微液滴驱动连续变形镜镜面仿真及工艺探索
| 摘要 | 第1-5页 |
| Abstract | 第5-10页 |
| 第一章 绪论 | 第10-20页 |
| ·自适应光学技术简介 | 第10-11页 |
| ·波前校正器的分类及特点 | 第11-13页 |
| ·国内外的研究状况 | 第13-18页 |
| ·论文的选题依据和研究意义 | 第18-19页 |
| ·论文的构成 | 第19-20页 |
| 第二章 微液体驱动的力学基础 | 第20-28页 |
| ·表面张力及电润湿原理 | 第20-23页 |
| ·表面张力产生压力差 | 第23-24页 |
| ·影响表面张力的因素 | 第24-27页 |
| ·本章小结 | 第27-28页 |
| 第三章 微液滴驱动波前校正器设计原理与力学分析 | 第28-34页 |
| ·微流体驱动光学波前校正器原理 | 第28-31页 |
| ·变形镜力学分析 | 第31-33页 |
| ·新型波前校正器特点及设计要求 | 第33页 |
| ·本章小结 | 第33-34页 |
| 第四章 微液滴驱动波前校正器镜面力学仿真 | 第34-51页 |
| ·模型的物理建模 | 第34-38页 |
| ·杨氏模量问题 | 第34-36页 |
| ·接触角改变过大 | 第34-35页 |
| ·初始应力过大 | 第35-36页 |
| ·驱动力分析 | 第36-38页 |
| ·模型的几何建立 | 第38-40页 |
| ·杨氏模量分析 | 第40-41页 |
| ·自由状态 | 第40-41页 |
| ·理想状态 | 第41页 |
| ·实际状态 | 第41页 |
| ·镜面变形性能分析 | 第41-50页 |
| ·交联值模拟分析 | 第43-45页 |
| ·镜面面形能力分析 | 第45-50页 |
| ·两单元驱动面形能力分析 | 第46-47页 |
| ·三单元及以上面形能力分析 | 第47-50页 |
| ·本章小结 | 第50-51页 |
| 第五章 微液滴驱动波前校正器工艺探索 | 第51-65页 |
| ·表面微加工介绍 | 第51-53页 |
| ·表面微加工机理 | 第51-52页 |
| ·表面微加工的特点 | 第52-53页 |
| ·电路结构设计 | 第53-55页 |
| ·制作工艺方案 | 第55-60页 |
| ·表面处理工艺 | 第60-63页 |
| ·常用亲疏水材料性质 | 第60-62页 |
| ·微液体驱动波前校正器表面处理特点及方案 | 第62-63页 |
| ·工艺制作结果 | 第63-64页 |
| ·本章小结 | 第64-65页 |
| 第六章 总结与展望 | 第65-67页 |
| ·论文总结 | 第65-66页 |
| ·研究展望 | 第66-67页 |
| 致谢 | 第67-68页 |
| 参考文献 | 第68-72页 |
| 攻读硕士期间取得的研究成果 | 第72-73页 |
