基于MEMS技术的SOI微加速度计的研究与设计
| 摘要 | 第1-5页 |
| ABSTRACT | 第5-10页 |
| 第一章 绪论 | 第10-17页 |
| ·MEMS技术概述 | 第10-14页 |
| ·MEMS的发展历程 | 第10-11页 |
| ·MEMS技术的特点 | 第11-12页 |
| ·MEMS技术的应用领域 | 第12-13页 |
| ·MEMS的发展动态 | 第13-14页 |
| ·MEMS技术和微电子技术的区别 | 第14页 |
| ·微加速度计的发展动态 | 第14-15页 |
| ·本课题研究的意义与主要内容 | 第15-17页 |
| 第二章 微机械加工技术概述 | 第17-25页 |
| ·表面微机械加工技术 | 第17-19页 |
| ·牺牲层技术 | 第17-18页 |
| ·湿法各向异性腐蚀和微电子工艺相结合的技术 | 第18-19页 |
| ·等离子体刻蚀技术 | 第19页 |
| ·体微机械加工技术 | 第19-22页 |
| ·湿法腐蚀技术 | 第19-20页 |
| ·湿法自停止腐蚀技术 | 第20页 |
| ·干法刻蚀技术 | 第20-21页 |
| ·氧化层掩埋技术 | 第21-22页 |
| ·键合技术 | 第22-23页 |
| ·LIGA技术 | 第23页 |
| ·本章小结 | 第23-25页 |
| 第三章 梳齿电容式微加速度计的结构及工作原理 | 第25-38页 |
| ·微加速度计的基本原理 | 第25-26页 |
| ·微加速度计的分类及选择 | 第26-28页 |
| ·梳齿电容式微加速度计的理论分析 | 第28-34页 |
| ·开环工作模式 | 第29-30页 |
| ·闭环工作模式 | 第30-33页 |
| ·吸合效应 | 第33-34页 |
| ·固有噪声 | 第34页 |
| ·梳齿电容式微加速度计的稳定性 | 第34-37页 |
| ·本章小结 | 第37-38页 |
| 第四章 梳齿电容式微加速度计的结构仿真与设计 | 第38-64页 |
| ·有限元法和ANSYS软件介绍 | 第38页 |
| ·梳齿电容式微加速度计的静力学分析 | 第38-41页 |
| ·弹簧结构参数对敏感质量块位移的影响 | 第41-45页 |
| ·模态分析与谐波响应分析 | 第45-47页 |
| ·模态分析 | 第45-46页 |
| ·谐波响应分析 | 第46-47页 |
| ·系统谐振频率的影响因素 | 第47-50页 |
| ·线性度分析 | 第50-52页 |
| ·弹性梁的结构分析与设计 | 第52-59页 |
| ·折叠式弹簧的弹性系数计算 | 第53-54页 |
| ·弹性系数的ANSYS仿真验证 | 第54-56页 |
| ·弹簧结构参数对弹性系数的影响规律 | 第56-59页 |
| ·一种新型结构的微加速度计 | 第59-61页 |
| ·微加速度计的结构尺寸设计 | 第61-62页 |
| ·本章小结 | 第62-64页 |
| 第五章 SOI微加速度计的工艺设计 | 第64-85页 |
| ·SOI材料的制备 | 第64-66页 |
| ·SOI微加速度计的工艺研究 | 第66-83页 |
| ·深槽硅刻蚀的工艺选择 | 第66-71页 |
| ·深槽硅刻蚀的工艺实验 | 第71-78页 |
| ·SOI微加速度计的加工工艺 | 第78-82页 |
| ·各种SOI微加速度计的工艺比较与选择 | 第82-83页 |
| ·本章小结 | 第83-85页 |
| 第六章 总结与展望 | 第85-88页 |
| ·总结 | 第85-87页 |
| ·展望 | 第87-88页 |
| 致谢 | 第88-89页 |
| 参考文献 | 第89-93页 |
| 攻读硕士期间取得的研究成果 | 第93-94页 |
