电磁式微机械陀螺结构设计与工艺研究
| 摘要 | 第1页 |
| ABSTRACT | 第3-6页 |
| 第一章 绪论 | 第6-11页 |
| ·选题意义 | 第6页 |
| ·国内外发展动态 | 第6-10页 |
| ·论文的主要工作 | 第10-11页 |
| 第二章 振动环式微机械陀螺仪的结构设计 | 第11-30页 |
| ·微机械陀螺工作原理 | 第11-14页 |
| ·陀螺仪结构设计理论建模 | 第14-19页 |
| ·电磁式陀螺仪结构的引出 | 第14-15页 |
| ·有限元模态理论 | 第15-18页 |
| ·Coriolis效应理论 | 第18-19页 |
| ·陀螺仪结构的有限元分析 | 第19-29页 |
| ·模态分析 | 第19-22页 |
| ·电刚度分析 | 第22-24页 |
| ·抗冲击载荷分析 | 第24-26页 |
| ·Coriolis效应分析 | 第26-29页 |
| ·小结 | 第29-30页 |
| 第三章 电磁式陀螺仪工艺研究 | 第30-41页 |
| ·MEMS工艺概述 | 第30-34页 |
| ·衬底材料的选择 | 第30-31页 |
| ·净化和清洗 | 第31页 |
| ·氧化 | 第31页 |
| ·光刻 | 第31-33页 |
| ·金属化：溅射和蒸发 | 第33页 |
| ·硅深反应离子刻蚀 | 第33-34页 |
| ·湿法刻蚀 | 第34页 |
| ·振动环式微机械陀螺仪工艺实现 | 第34-39页 |
| ·工艺方案制定 | 第34-35页 |
| ·硅片清洗 | 第35页 |
| ·氧化与氮化 | 第35-36页 |
| ·沉积电极 | 第36-37页 |
| ·硅片背面减薄 | 第37-38页 |
| ·深刻蚀 | 第38页 |
| ·划片与压焊 | 第38-39页 |
| ·工艺实现与有限元实现的比较 | 第39-40页 |
| ·工作频率及抗冲击性分析 | 第39页 |
| ·测量角速度分析 | 第39-40页 |
| ·小结 | 第40-41页 |
| 第四章 总结 | 第41-43页 |
| ·工作总结 | 第41页 |
| ·未来展望 | 第41-43页 |
| 参考文献 | 第43-45页 |
| 致谢 | 第45-46页 |
| 在学期间发表的学术论文和参加科研情况 | 第46页 |
