| 摘要 | 第1-6页 |
| ABSTRACT | 第6-10页 |
| 1 绪论 | 第10-30页 |
| ·MEMS 概述 | 第10-13页 |
| ·微惯性技术及微机械石英陀螺的发展 | 第13-23页 |
| ·微机械石英陀螺设计方法 | 第23-27页 |
| ·课题的来源、目的、意义及论文结构 | 第27-30页 |
| 2 微机械石英陀螺的研究基础 | 第30-44页 |
| ·引言 | 第30页 |
| ·石英材料的物理性能 | 第30-36页 |
| ·微机械石英陀螺的动力学基础 | 第36-43页 |
| ·本章小结 | 第43-44页 |
| 3 基于公理设计理论的微机械石英陀螺的设计 | 第44-62页 |
| ·引言 | 第44页 |
| ·公理设计理论 | 第44-52页 |
| ·柯氏振动陀螺的公理设计 | 第52-55页 |
| ·微机械石英陀螺中的振动敏感元件的分析与创新 | 第55-61页 |
| ·本章小结 | 第61-62页 |
| 4 微机械梳齿石英陀螺有限元分析及集总参数模型研究 | 第62-83页 |
| ·引言 | 第62页 |
| ·微机械梳齿石英陀螺的模态分析 | 第62-70页 |
| ·微机械梳齿石英陀螺的集总模型研究 | 第70-82页 |
| ·本章小结 | 第82-83页 |
| 5 微机械石英陀螺相关电路研究 | 第83-101页 |
| ·引言 | 第83-84页 |
| ·驱动信号的实现 | 第84-86页 |
| ·感测信号的检测 | 第86-100页 |
| ·本章小结 | 第100-101页 |
| 6 微机械石英陀螺加工制造 | 第101-110页 |
| ·引言 | 第101页 |
| ·石英陀螺的基本制作方法 | 第101-103页 |
| ·微机械梳齿石英陀螺中的石英基片的超声加工 | 第103-109页 |
| ·本章小结 | 第109-110页 |
| 7 MEMS 用加载台研制及微机械梳齿石英陀螺振动模式研究 | 第110-125页 |
| ·引言 | 第110页 |
| ·MEMS 动态特性频闪干涉视觉三维测量技术及系统 | 第110-116页 |
| ·基础振动激励及多载荷加载台 | 第116-121页 |
| ·微机械梳齿石英陀螺的振动模式计算与测试 | 第121-124页 |
| ·本章小结 | 第124-125页 |
| 8 全文总结与展望 | 第125-127页 |
| ·全文总结 | 第125-126页 |
| ·展望 | 第126-127页 |
| 致谢 | 第127-128页 |
| 参考文献 | 第128-135页 |
| 附录1 攻读博士学位期间发表的论文目录 | 第135-136页 |
| 附录2 攻读博士学位期间申请的专利 | 第136页 |
