超精密主轴回转精度测试研究
| 摘要 | 第1-5页 |
| Abstract | 第5-10页 |
| 第1章 绪论 | 第10-16页 |
| ·课题来源及研究目的与意义 | 第10-11页 |
| ·课题来源 | 第10页 |
| ·研究的目的和意义 | 第10-11页 |
| ·超精密机床主轴轴系简介 | 第11-12页 |
| ·超精密机床轴系回转误差测试简介 | 第12-13页 |
| ·国内外研究综述 | 第13-15页 |
| ·本课题的主要研究内容 | 第15-16页 |
| 第2章 主轴回转误差测量原理研究 | 第16-25页 |
| ·主轴回转误差信号理论 | 第16-18页 |
| ·主轴回转误差信号的分类 | 第16-17页 |
| ·主轴回转误差信号的傅立叶级数表示 | 第17-18页 |
| ·主轴回转误差测量方法 | 第18-20页 |
| ·主轴回转误差的传统测量方法 | 第18-19页 |
| ·超精密轴系回转误差的测量方法 | 第19-20页 |
| ·主轴回转误差的分离方法 | 第20-24页 |
| ·反向法 | 第21-22页 |
| ·多点法 | 第22-23页 |
| ·多步法 | 第23-24页 |
| ·本实验选择的误差分离方法 | 第24页 |
| ·本章小结 | 第24-25页 |
| 第3章 测量系统设计及试验方案 | 第25-41页 |
| ·测量系统的总体设计 | 第25-26页 |
| ·单点双向法的测量原理及试验方案 | 第26-32页 |
| ·单点双向法测量误差组成 | 第26-28页 |
| ·单点双向法测量方案 | 第28页 |
| ·消除非接触式测量时的基准误差 | 第28-29页 |
| ·傅立叶变换分离标准球偏心误差 | 第29页 |
| ·反向法分离标准球形状误差 | 第29-30页 |
| ·X、Y 方向上的回转误差合成 | 第30-31页 |
| ·多角度法分离轴向径向回转误差 | 第31-32页 |
| ·待测轴系的性能指标 | 第32页 |
| ·测量仪器的选择 | 第32-33页 |
| ·电气驱动系统的设计 | 第33-39页 |
| ·触摸屏与PLC组成的电机控制部分的设计 | 第34-36页 |
| ·PLC编程控制电机 | 第36-37页 |
| ·电机的选择 | 第37-39页 |
| ·纯力偶柔性联轴器的设计 | 第39页 |
| ·测量系统的总体结构 | 第39-40页 |
| ·本章小结 | 第40-41页 |
| 第4章 误差数据的计算机处理 | 第41-50页 |
| ·圆度误差和主轴回转误差的评定方法 | 第41-46页 |
| ·圆度误差的几何特征与评定方法 | 第41-45页 |
| ·主轴回转误差的评定方法 | 第45-46页 |
| ·数据处理软件系统设计 | 第46-49页 |
| ·本章小结 | 第49-50页 |
| 第5章 误差分析及测试试验研究 | 第50-63页 |
| ·气体静压轴承回转误差产生机理分析 | 第50-52页 |
| ·力学模型的阐述 | 第50-51页 |
| ·理想情况下误差均化模型的建立与分析 | 第51-52页 |
| ·典型情况下误差均化表 | 第52页 |
| ·测量系统的误差分析 | 第52-55页 |
| ·系统误差分析与抑制 | 第53页 |
| ·机械装置误差的分析与抑制 | 第53-55页 |
| ·传感器误差的分析与抑制 | 第55页 |
| ·测试试验研究 | 第55-62页 |
| ·测量数据 | 第55-60页 |
| ·原始数据的重复性分析 | 第60-61页 |
| ·验证本测量系统以及静力学模型 | 第61-62页 |
| ·本章小结 | 第62-63页 |
| 结论 | 第63-64页 |
| 参考文献 | 第64-69页 |
| 致谢 | 第69页 |
