双层结构红外焦平面阵列的设计与制备
| 摘要 | 第1-5页 |
| ABSTRACT | 第5-9页 |
| 第一章 绪论 | 第9-19页 |
| ·光电探测器分类及非制冷红外焦平面阵列发展 | 第9-10页 |
| ·传统微测辐射热计式红外焦平面探测器 | 第10-12页 |
| ·双牺牲层微测辐射热计焦平面探测器研究进展 | 第12-17页 |
| ·屋檐结构和伞状结构的微测辐射热计 | 第12-14页 |
| ·隐藏桥腿结构的微测辐射热计 | 第14-16页 |
| ·两种双牺牲层微测辐射热计结构的比较分析 | 第16-17页 |
| ·论文的主要工作 | 第17-19页 |
| ·选题意义 | 第17-18页 |
| ·研究内容 | 第18-19页 |
| 第二章 双牺牲层红外焦平面阵列的设计及力学仿真 | 第19-37页 |
| ·IntelliSuite 简介 | 第19-20页 |
| ·双牺牲层红外焦平面阵列设计 | 第20-24页 |
| ·双牺牲层红外焦平面阵列工艺流程 | 第20-21页 |
| ·双牺牲层红外焦平面阵列版图设计 | 第21-24页 |
| ·双牺牲层红外焦平面阵列力学性能仿真 | 第24-36页 |
| ·应力对器件的影响 | 第25页 |
| ·引入“伞”状结构对器件力学性能的影响 | 第25-28页 |
| ·结构中“奇点”对器件应力和形变的影响 | 第28-31页 |
| ·不同材料条件下器件应力和形变的仿真分析 | 第31-35页 |
| ·NEC 改进型“伞”状结构的力学性能仿真 | 第35-36页 |
| ·本章小结 | 第36-37页 |
| 第三章 双牺牲层红外焦平面阵列的制备 | 第37-56页 |
| ·双牺牲层红外焦平面阵列工艺基础 | 第37-44页 |
| ·薄膜材料的制备方法 | 第37-40页 |
| ·牺牲层技术 | 第40-41页 |
| ·非制冷红外焦平面阵列制备中的光刻技术 | 第41-44页 |
| ·双牺牲层红外焦平面阵列的制备 | 第44-55页 |
| ·光敏聚酰亚胺牺牲层制备研究 | 第44-48页 |
| ·双牺牲层力学支撑实验 | 第48-52页 |
| ·双牺牲层红外焦平面阵列的制备 | 第52-55页 |
| ·本章小结 | 第55-56页 |
| 第四章 双牺牲层红外焦平面阵列的测试及讨论 | 第56-62页 |
| ·红外焦平面阵列性能参数 | 第56页 |
| ·红外焦平面阵列测试及讨论 | 第56-61页 |
| ·双牺牲层力学支撑实验结果讨论 | 第56-57页 |
| ·双牺牲层非制冷红外焦平面阵列的测试 | 第57-61页 |
| ·本章小结 | 第61-62页 |
| 第五章 总结与展望 | 第62-64页 |
| ·本文工作总结 | 第62页 |
| ·本文工作展望 | 第62-64页 |
| 致谢 | 第64-65页 |
| 参考文献 | 第65-69页 |
| 攻硕期间取得的研究成果 | 第69-70页 |
