微电子工业洁净厂房的设计探讨

摘要	第1-5页
Abstract	第5-7页
第一章 绪论	第7-11页
·课题背景	第7-8页
·国内外研究现状	第8-9页
·洁净技术在国外的发展	第8页
·我国洁净技术的发展	第8-9页
·当前微电子工业的洁净技术的进展	第9页
·论文主要内容	第9-11页
第二章 微电子工业洁净厂房设计概述	第11-14页
·微电子工业洁净厂房组成	第11页
·洁净厂房设计的特点	第11-12页
·微电子工业洁净厂房总体设计的方法	第12-14页
第三章 微电子工业洁净厂房的暖通设计	第14-36页
·工程背景及设计要求	第14页
·净化空调系统设计	第14-33页
·净化空调系统设计特点	第14-16页
·净化空调系统技术	第16-27页
·净化空调系统设计	第27-32页
·空气处理过程的计算和空调箱参数的确定	第32-33页
·暖通专业其他系统的设计	第33-35页
·小结	第35-36页
第四章 微电子工业洁净厂房的给排水设计	第36-46页
·给排水设计的主要内容及应注意的问题	第36-38页
·纯水的制备和输送	第38-42页
·洁净厂房给排水工程设计	第42-44页
·小结	第44-46页
第五章 微电子工业洁净厂房的气体动力设计	第46-54页
·气体动力设计的主要内容	第46-47页
·洁净压缩空气系统	第47-50页
·洁净厂房气体动力工程设计	第50-53页
·小结	第53-54页
第六章 结束语	第54-55页
致谢	第55-56页
作者在硕士研究生阶段发表的论文	第56-57页
参考文献	第57-58页