| 摘要 | 第1-3页 |
| Abstract | 第3-5页 |
| 第一章 绪论 | 第5-10页 |
| 1、课题研究的背景和微波化学 | 第5-8页 |
| 2、本文的主要内容 | 第8-10页 |
| 第二章 等离子体参数的测量研究 | 第10-21页 |
| 1、等离子体的概述 | 第10-11页 |
| 2、等离子体的各种性质 | 第11-12页 |
| 3、等离子体的判断 | 第12-14页 |
| 4、等离子体的应用 | 第14-16页 |
| 5、微波等离子体的电子温度Te和等离子体密度n0的测量 | 第16-20页 |
| 6、本章小节 | 第20-21页 |
| 第三章 等离子体空间温度的测量研究 | 第21-32页 |
| 1、测温装置的探讨 | 第21-24页 |
| 2、热电偶测温微波等离子体的空间温度 | 第24-30页 |
| 3、本章小节 | 第30-32页 |
| 第四章 真空状态下气体压强的测量 | 第32-44页 |
| 1、真空简介 | 第32-33页 |
| 2、真空系统的典型形式 | 第33-35页 |
| 3、流动过程的基本物理量及其相互关系的电气模拟 | 第35-37页 |
| 4、圆截面长管的粘滞流流导 | 第37-39页 |
| 5、真空系统中压强的测量 | 第39-42页 |
| 6、石英反应管内压强的测量和确定 | 第42-43页 |
| 7、本章小节 | 第43-44页 |
| 第五章 微波等离子体条件下氢化甲烷偶联 | 第44-52页 |
| 1、等离子体化学反应机理的探讨 | 第44-47页 |
| 2、在大气压下研究微波等离子体中的氢化甲烷偶联 | 第47-50页 |
| 3、本章小节 | 第50-52页 |
| 结束语 | 第52-53页 |
| 致谢 | 第53页 |