薄膜型压电微电机的有限元模拟

摘要	第1-5页
Abstract	第5-8页
1 绪论	第8-18页
·微机电系统压电驱动概述	第8-9页
·微机电系统压电驱动的分类	第9-12页
·压电微电机在国内外的发展状况	第12-16页
·本课题的目的和主要研究内容	第16-18页
2 压电材料(薄膜)的特性及其应用	第18-26页
·引言	第18-19页
·压电薄膜的压电效应表示式	第19-22页
·压电分析及其所需的材料参数	第22-25页
·小结	第25-26页
3 薄膜压电微电机的数学模型	第26-46页
·引言	第26页
·柱状薄膜型压电微电机的运行机理分析	第26-30页
·有限元法概述	第30-33页
·薄膜柱状压电微电机的数学模型	第33-45页
·小结	第45-46页
4 薄膜压电微电机的模拟仿真	第46-60页
·引言	第46页
·压电微电机的模态分析基础	第46-48页
·压电微电机的模态分析的振型选择	第48-53页
·仿真状态下压电微电机的结构分析	第53-58页
·模拟结论	第58页
·小结	第58-60页
5 全文总结	第60-62页
·本文贡献	第60-61页
·展望	第61-62页
致谢	第62-63页
参考文献	第63-67页
附录1  攻读硕士学位期间发表的论文	第67页