硅基微机械光开关研究
| 中文摘要 | 第1-4页 |
| ABSTRACT | 第4-8页 |
| 第一章 引言 | 第8-23页 |
| ·微光机电系统与光通信技术 | 第8-11页 |
| ·光开关 | 第11-15页 |
| ·光开关的应用 | 第11-13页 |
| ·非微机械式开关 | 第13-15页 |
| ·微机械光开关 | 第15-21页 |
| ·二维(2D)光开关 | 第15-19页 |
| ·三维(3D)光开关 | 第19-21页 |
| ·本论文研究目的和主要工作 | 第21-23页 |
| 第二章 光开关的设计和模拟 | 第23-55页 |
| ·微机械光开关驱动方式和结构 | 第23-25页 |
| ·光开关光学设计 | 第25-37页 |
| ·2×2光开关的光路设计 | 第25-27页 |
| ·光开关对准偏差损耗分析 | 第27-36页 |
| ·光开关硅微镜反射损耗分析 | 第36-37页 |
| ·微驱动器设计 | 第37-52页 |
| ·阈值电压、开关位移、模态频率与结构尺寸关系 | 第37-47页 |
| ·光开关速度分析 | 第47-52页 |
| ·光开关阵列设计 | 第52-54页 |
| ·本章小结 | 第54-55页 |
| 第三章 微镜凸角削角补偿研究 | 第55-62页 |
| ·微镜凸角削角补偿研究对光开关的意义 | 第55-56页 |
| ·微镜的各向异性腐蚀的演化 | 第56-58页 |
| ·补偿图形的确定 | 第58-59页 |
| ·实验及结果 | 第59-61页 |
| ·实验 | 第59页 |
| ·微镜凸角削角补偿结果 | 第59-61页 |
| ·本章小结 | 第61-62页 |
| 第四章 微机械光开关的制作 | 第62-69页 |
| ·掩膜板制作 | 第62页 |
| ·工艺流程 | 第62-65页 |
| ·工艺制作结果 | 第65-68页 |
| ·本章小结 | 第68-69页 |
| 第五章 光开关测试 | 第69-86页 |
| ·微镜表面粗糙度测量 | 第69-72页 |
| ·微镜粗糙度测量的特点和测量方法 | 第69-70页 |
| ·端面、微镜反射面及蒸铬金膜后的端面测量结果 | 第70-72页 |
| ·光开关电学模型参数测量和机械测试 | 第72-77页 |
| ·光开关电容电阻测量 | 第72-74页 |
| ·光开关位移及阈值电压 | 第74-76页 |
| ·谐振频率测量 | 第76-77页 |
| ·光开关开关性能测试 | 第77-84页 |
| ·测量系统 | 第77-78页 |
| ·光开关关键指标测试 | 第78-83页 |
| ·光开关性能测量结果讨论 | 第83-84页 |
| ·本章小结 | 第84-86页 |
| 第六章 结论 | 第86-89页 |
| 附录1: 图4-19的数据 | 第89-92页 |
| 附录2: 静电驱动扭转结构阵列单元间互扰研究 | 第92-98页 |
| 附录3: 开关制作过程中发明的一种硅尖制作新方法 | 第98-102页 |
| 参考文献: | 第102-109页 |
| 致谢 | 第109页 |
