超硬薄膜CN_x直流磁控反应溅射法的制备及性能研究

中文摘要	第1-5页
英文摘要	第5-7页
第一章 引言	第7-34页
第二章 样品的制备方法和分析	第34-67页
第三章 CNX超硬薄膜的制备和特性研究	第67-91页
第四章 工作总结及展望	第91-94页
致谢	第94页