| 摘要 | 第1-6页 |
| ABSTRACT | 第6-10页 |
| 第1章 绪论 | 第10-24页 |
| ·两个重要问题概述 | 第10-13页 |
| ·长直圆管道快速抽真空问题 | 第10-12页 |
| ·分子流态下长直圆管道出口处分子的分布规律问题 | 第12-13页 |
| ·两个问题研究的现状 | 第13-19页 |
| ·真空状态下的气体流动 | 第14-17页 |
| ·真空吸附技术理论研究的现状 | 第17-18页 |
| ·分子流态下长直圆管道出口处分子的分布规律问题的研究 | 第18-19页 |
| ·FLUENT软件简介 | 第19-21页 |
| ·FLUENT软件组成 | 第19-20页 |
| ·FLUENT软件的边界条件介绍 | 第20-21页 |
| ·课题研究的意义 | 第21-22页 |
| ·存在问题 | 第21-22页 |
| ·研究意义 | 第22页 |
| ·本课题的研究思路、方法、内容及创新点 | 第22-24页 |
| ·思路及方法 | 第22-23页 |
| ·研究内容 | 第23页 |
| ·课题创新点 | 第23-24页 |
| 第2章 长直圆管道的快速抽真空问题 | 第24-42页 |
| ·长直圆管道快速抽真空问题的产生 | 第24-25页 |
| ·建立数学模型与求解 | 第25-29页 |
| ·工件上升时间t_3的计算 | 第25-27页 |
| ·真空度响应时间t_2的计算 | 第27-29页 |
| ·使用FLUENT模拟的可行性 | 第29-36页 |
| ·找出合适的边界条件 | 第30-33页 |
| ·边界条件的选择 | 第33-36页 |
| ·长直圆管道快速抽真空问题的模拟计算 | 第36-41页 |
| ·模拟计算过程 | 第36-37页 |
| ·影响模拟结果因素的分析 | 第37-41页 |
| ·本章小结 | 第41-42页 |
| 第3章 分子流态下直圆管道出口处分子的分布规律问题 | 第42-68页 |
| ·直接穿过管道分子数学模型的建立 | 第42-47页 |
| ·分子流态下分子穿越直圆管道第一次碰撞的计算 | 第43-45页 |
| ·直接穿越管道的位置分布计算数学模型 | 第45-46页 |
| ·直接穿越分子飞出射方向的讨论 | 第46-47页 |
| ·用蒙特卡洛法模拟分子在直圆管道内的飞行特性 | 第47-66页 |
| ·蒙特卡洛法模拟的假设与算法 | 第48-54页 |
| ·程序流程 | 第54-55页 |
| ·模拟结果及分析 | 第55-64页 |
| ·数学模型计算结果与模拟结果的比较 | 第64-66页 |
| ·本章小结 | 第66-68页 |
| 第4章 结论 | 第68-70页 |
| ·结论 | 第68-69页 |
| ·展望 | 第69-70页 |
| 参考文献 | 第70-74页 |
| 致谢 | 第74-76页 |
| 攻读硕士学位期间发表的论文 | 第76-78页 |
| 附录: VB程序源代码 | 第78-85页 |