基于MEMS的液压系统流量传感器的理论与实验研究
| 摘要 | 第1-6页 |
| Abstract | 第6-9页 |
| 第1章 绪论 | 第9-16页 |
| ·流量测量的一般概述 | 第9-11页 |
| ·液压系统中的流量测量概述 | 第11-14页 |
| ·流量测量在液压系统中的意义与特点 | 第11-12页 |
| ·液压系统中流量测量的国内外研究现状 | 第12-14页 |
| ·基于MEMS传感器的液压系统流量测量新方法 | 第14-15页 |
| ·论文的研究背景及主要研究内容 | 第15-16页 |
| ·论文的研究背景 | 第15页 |
| ·论文的主要研究内容 | 第15-16页 |
| 第2章 MEMS简介及对MEMS传感器的选型 | 第16-24页 |
| ·MEMS简介及国内外研究现状 | 第16-18页 |
| ·MEMS微传感器的特点 | 第18-19页 |
| ·MEMS力学流量传感器的原理及选型 | 第19-23页 |
| ·力学流量传感器的原理 | 第19-20页 |
| ·压阻式MEMS压力传感器工作原理 | 第20-22页 |
| ·MEMS力学传感器的选型 | 第22-23页 |
| ·本章小结 | 第23-24页 |
| 第3章 新型流量传感器的建模与尺寸优化 | 第24-37页 |
| ·流量—压差关系模型的导出 | 第24-34页 |
| ·异径管结构的优化设计 | 第34-36页 |
| ·本章小结 | 第36-37页 |
| 第4章 新型流量传感器的仿真分析 | 第37-53页 |
| ·CFD及其软件介绍 | 第37-40页 |
| ·CFD简介 | 第37-38页 |
| ·FLUENT软件概述 | 第38-40页 |
| ·新流量传感器内外流场的计算机建模 | 第40-43页 |
| ·异径管内外流场的计算步骤 | 第40页 |
| ·异径管内外流场的几何建模 | 第40页 |
| ·计算网格的划分 | 第40-41页 |
| ·计算模型的建立 | 第41-43页 |
| ·传感器内外流场仿真的一般性分析 | 第43-47页 |
| ·仿真的条件 | 第43-44页 |
| ·仿真结果与分析 | 第44-47页 |
| ·传感器内MEMS力敏芯体置入位置的确定 | 第47页 |
| ·压力差随流速变化的仿真分析 | 第47-49页 |
| ·异径管上开口及支撑对流场影响的仿真分析 | 第49-52页 |
| ·本章小结 | 第52-53页 |
| 第5章 新型流量传感器的实验研究 | 第53-66页 |
| ·MEMS芯体的标定及传感器制作 | 第53-57页 |
| ·MEMS芯体的标定 | 第53-56页 |
| ·传感器制作 | 第56-57页 |
| ·实验系统及测试条件 | 第57-58页 |
| ·传感器实测和分析 | 第58-65页 |
| ·基本测试 | 第59页 |
| ·不同结构参数的测试对比 | 第59-61页 |
| ·实验与仿真的对比标定 | 第61-63页 |
| ·传感器的误差实验与分析 | 第63-65页 |
| ·本章小结 | 第65-66页 |
| 第6章 总结与展望 | 第66-69页 |
| ·本文总结 | 第66-67页 |
| ·相关工作展望 | 第67-69页 |
| 参考文献 | 第69-72页 |
| 致谢 | 第72-73页 |
| 研究生履历 | 第73页 |
