难熔金属与硅间界面反应的热力学研究
| 摘要 | 第1-4页 |
| ABSTRACT | 第4-8页 |
| 第一章 文献综述 | 第8-19页 |
| ·界面反应的研究背景 | 第8-12页 |
| ·电子封装的工艺结构 | 第8-9页 |
| ·电子封装中的界面反应 | 第9页 |
| ·Si与难熔金属间的界面反应的研究现状 | 第9-10页 |
| ·研究界面反应的理论模型 | 第10-12页 |
| ·相图及其在材料科学中的应用 | 第12-13页 |
| ·相图计算原理与方法 | 第13-18页 |
| ·相图计算概述 | 第13-14页 |
| ·相图计算的原理—Gibbs法则 | 第14页 |
| ·相图计算方法 | 第14-15页 |
| ·热力学模型 | 第15-18页 |
| ·本文研究的目的和内容 | 第18-19页 |
| 第二章 Pt-V-Si三元系热力学计算 | 第19-41页 |
| ·引言 | 第19页 |
| ·实验数据评估 | 第19-24页 |
| ·Pt-Si二元系 | 第19-21页 |
| ·V-Si二元系 | 第21-23页 |
| ·Pt-V二元系 | 第23页 |
| ·Pt-V-Si三元系 | 第23-24页 |
| ·热力学模型 | 第24-25页 |
| ·溶体相 | 第24页 |
| ·化学计量比相 | 第24-25页 |
| ·V_3Si相 | 第25页 |
| ·计算结果与讨论 | 第25-40页 |
| ·Pt-Si二元系 | 第25-31页 |
| ·V-Si二元系 | 第31-36页 |
| ·Pt-V-Si三元系 | 第36-40页 |
| ·本章小结 | 第40-41页 |
| 第三章 Ag-Pt-Si三元系热力学计算 | 第41-53页 |
| ·引言 | 第41页 |
| ·实验数据评估 | 第41-44页 |
| ·Ag-Pt二元系 | 第41-43页 |
| ·Ag-Si二元系 | 第43页 |
| ·Ag-Pt-Si三元系 | 第43-44页 |
| ·热力学模型 | 第44-45页 |
| ·溶体相 | 第44页 |
| ·化合物相 | 第44-45页 |
| ·计算结果与讨论 | 第45-52页 |
| ·Ag-Pt二元系 | 第45-48页 |
| ·Ag-Pt-Si三元系 | 第48-52页 |
| ·本章小结 | 第52-53页 |
| 第四章 Pt、V与Si之间界面反应的热力学分析 | 第53-59页 |
| ·引言 | 第53页 |
| ·半经验模型 | 第53-55页 |
| ·界面反应的预测 | 第55-58页 |
| ·V/Si界面反应的预测 | 第55-57页 |
| ·Pt/Si界面反应的预测 | 第57-58页 |
| ·本章小结 | 第58-59页 |
| 第五章 总结 | 第59-60页 |
| 参考文献 | 第60-67页 |
| 致谢 | 第67-68页 |
| 攻读学位期间发表的论文 | 第68页 |
