| 中文摘要 | 第1-4页 |
| 英文摘要 | 第4-6页 |
| 目录 | 第6-8页 |
| 第一章 引言 | 第8-17页 |
| §1.1 STM原理 | 第8-10页 |
| §1.2 STM工作模式 | 第10-11页 |
| §1.3 STM基本结构 | 第11-12页 |
| §1.4 STM的发展、应用和局限 | 第12-14页 |
| §1.5 本论文的工作构想和主要内容 | 第14-17页 |
| 第二章 压电扫描管驱动电路和步进电机驱动电路的设计和制作 | 第17-29页 |
| §2.1 压电陶瓷扫描管和高压PZT驱动电路的设计 | 第17-22页 |
| §2.2 粗调定位器:压电陶瓷步进电机 | 第22-25页 |
| §2.3 步进电机驱动电路设计 | 第25-26页 |
| §2.4 电路测试分析 | 第26-29页 |
| 第三章 隧道电流前置放大单元的设计 | 第29-38页 |
| §3.1 电流放大器 | 第29-31页 |
| §3.2 隧道电流放大电路的设计 | 第31-38页 |
| 第四章 STM反馈系统和数字信号处理器单元 | 第38-53页 |
| §4.1 STM反馈系统 | 第38-43页 |
| §4.2 数字信号处理器单元 | 第43-48页 |
| §4.3 关于控制程序 | 第48-53页 |
| 第五章 结论 | 第53-54页 |
| 附录: | 第54-62页 |
| 附录A:压电陶瓷扫描管驱动电路原理图 | 第54-56页 |
| 附录B:SignalRangerSP2DSPboard的扩展子电路原理图 | 第56-57页 |
| 附录C:电源单元实物图 | 第57-59页 |
| 附录D:STM主电路单元实物图 | 第59-61页 |
| 附录E:DSP单元实物图 | 第61-62页 |
| 参考文献 | 第62-66页 |
| 攻读硕士学位期间发表的文章 | 第66-67页 |
| 致谢 | 第67页 |
