溶胶—凝胶法制备的透明导电氧化物（TCO）薄膜
| 中文摘要 | 第1-4页 |
| ABSTRACT | 第4-8页 |
| 第一章 前言 | 第8-27页 |
| ·前言 | 第8页 |
| ·透明导电薄膜的应用 | 第8-9页 |
| ·透明导电薄膜分类 | 第9-18页 |
| ·SnO_2基薄膜 | 第9-12页 |
| ·ZnO基薄膜 | 第12-18页 |
| ·其他类型TCO薄膜 | 第18页 |
| ·TCO制备方法 | 第18-23页 |
| ·sol-gel法 | 第19-20页 |
| ·真空蒸发法 | 第20-21页 |
| ·溅射法 | 第21-22页 |
| ·化学气相淀积(CVD) | 第22页 |
| ·高温热解喷涂法 | 第22-23页 |
| ·离子镀 | 第23页 |
| ·TCO薄膜的研究现状与发展 | 第23-25页 |
| ·课题的提出 | 第25-27页 |
| 第二章 中性络合Sn溶胶的制备与胶体化学 | 第27-50页 |
| ·引言 | 第27页 |
| ·实验部分 | 第27-30页 |
| ·主要原料列表 | 第28页 |
| ·仪器列表 | 第28页 |
| ·实验流程 | 第28-29页 |
| ·实验过程 | 第29页 |
| ·表征方法 | 第29-30页 |
| ·结果与讨论 | 第30-49页 |
| ·草酸盐沉淀法去除Cl-离子 | 第30-34页 |
| ·Sn溶胶的制备 | 第34-41页 |
| ·sol-gel化学机理的探讨 | 第41-48页 |
| ·SnC_2O_4在中性溶液中的络合溶解一般过程 | 第48-49页 |
| ·本章结论 | 第49-50页 |
| 第三章 SnO_2及其掺杂薄膜的制备、结构与性能 | 第50-80页 |
| ·引言 | 第50页 |
| ·实验部分 | 第50-53页 |
| ·主要原料列表 | 第50-51页 |
| ·实验流程 | 第51页 |
| ·实验过程 | 第51-52页 |
| ·表征方法 | 第52-53页 |
| ·结果与讨论 | 第53-78页 |
| ·SnO_2薄膜的制备 | 第53-59页 |
| ·SnO_2:Sb薄膜的制备 | 第59-69页 |
| ·SnO_2:F薄膜的制备 | 第69-78页 |
| ·本章结论 | 第78-80页 |
| 第四章 络合F掺杂SnO_2薄膜的研究 | 第80-93页 |
| ·前言 | 第80页 |
| ·实验部分 | 第80-82页 |
| ·主要原料列表 | 第80-81页 |
| ·实验流程 | 第81页 |
| ·实验过程 | 第81页 |
| ·表征方法 | 第81-82页 |
| ·结果与讨论 | 第82-91页 |
| ·TFA在溶胶中的稳定性 | 第82-84页 |
| ·溶剂对薄膜表面形貌的影响 | 第84-85页 |
| ·TFA掺杂量对微观形貌的影响 | 第85-88页 |
| ·TFA掺杂量对表面电阻的影响 | 第88页 |
| ·膜厚与表面电阻 | 第88-90页 |
| ·NH4F掺杂与TFA掺杂的对比 | 第90页 |
| ·TFA掺杂量对可见光透光率的影响 | 第90-91页 |
| ·本章结论 | 第91-93页 |
| 第五章 ZnO:Al:F薄膜的制备、结构与性能 | 第93-112页 |
| ·引言 | 第93页 |
| ·实验部分 | 第93-97页 |
| ·主要原料列表 | 第93-94页 |
| ·仪器列表 | 第94页 |
| ·实验流程 | 第94-95页 |
| ·实验过程 | 第95-96页 |
| ·表征方法 | 第96-97页 |
| ·结果与讨论 | 第97-111页 |
| ·ZnO:Al:F薄膜表面形貌分析 | 第97-101页 |
| ·ZnO:Al:F薄膜电导性能 | 第101-108页 |
| ·ZnO:Al:F薄膜透光性 | 第108-111页 |
| ·本章结论 | 第111-112页 |
| 第六章 结论 | 第112-114页 |
| 参考文献 | 第114-125页 |
| 发表论文和参加科研情况说明 | 第125-126页 |
| 致谢 | 第126页 |
