基于并五苯的垂直构型场效应晶体管的研究
| 致谢 | 第1-6页 |
| 中文摘要 | 第6-7页 |
| ABSTRACT | 第7-11页 |
| 1 绪论 | 第11-23页 |
| ·引言 | 第11-12页 |
| ·OFET的发展和应用前景 | 第12-15页 |
| ·OFET的发展 | 第12-13页 |
| ·OFET的应用 | 第13-15页 |
| ·OFET的结构和工作原理 | 第15-18页 |
| ·水平构型OFET | 第15-17页 |
| ·垂直构型OFET | 第17-18页 |
| ·OFET的材料 | 第18-22页 |
| ·OFET的半导体材料及载流子在其中的传输 | 第18-21页 |
| ·OFET的绝缘层材料 | 第21页 |
| ·OFET的电极材料 | 第21-22页 |
| ·OFET研究中存在的问题 | 第22页 |
| ·本论文的主要工作 | 第22-23页 |
| 2 VOFET的制备和性能表征 | 第23-27页 |
| ·器件的制备 | 第23-25页 |
| ·ITO玻璃基片的清洗和处理 | 第23-24页 |
| ·有机半导体层和无机绝缘层薄膜的制备 | 第24页 |
| ·金属电极的制备 | 第24-25页 |
| ·器件的性能参数和性能测试 | 第25-27页 |
| ·器件的性能参数 | 第25-26页 |
| ·器件中各层厚度的测试 | 第26页 |
| ·器件的输出特性和转移特性的测试 | 第26-27页 |
| 3 基于并五苯的VOFET的研究 | 第27-48页 |
| ·引言 | 第27-28页 |
| ·LiF介电绝缘层厚度对VOFET的影响 | 第28-29页 |
| ·中间电极对VOFET的影响 | 第29-36页 |
| ·中间电极Al层厚度的优化 | 第29-32页 |
| ·臭氧处理中间Al电极对器件性能的影响 | 第32-34页 |
| ·不同金属为中间电极的器件性能之比较 | 第34-36页 |
| ·小结 | 第36页 |
| ·中间电极修饰层对载流子注入的影响 | 第36-42页 |
| ·Cs_2CO_3修饰层对器件性能的影响 | 第37-40页 |
| ·LiF修饰层对器件性能的影响 | 第40-42页 |
| ·小结 | 第42页 |
| ·双极型VOFET的研究 | 第42-48页 |
| 4 结论 | 第48-49页 |
| 参考文献 | 第49-53页 |
| 作者简历 | 第53-55页 |
| 学位论文数据集 | 第55页 |
