| 摘要 | 第1-5页 |
| Abstract | 第5-10页 |
| 1 绪论 | 第10-27页 |
| ·研究背景 | 第10页 |
| ·太阳能电池的工作原理 | 第10-11页 |
| ·太阳能电池的种类 | 第11-17页 |
| ·硅系太阳能电池 | 第12-14页 |
| ·多元化合物薄膜太阳能电池 | 第14-15页 |
| ·染料敏化薄膜电池 | 第15-17页 |
| ·CuInS_2化合物性质 | 第17-19页 |
| ·晶体结构 | 第17-18页 |
| ·光学性能 | 第18页 |
| ·电学性能 | 第18-19页 |
| ·ZnS性质 | 第19-20页 |
| ·ZnS物相结构 | 第19-20页 |
| ·ZnS光学特性 | 第20页 |
| ·薄膜制备方法简介 | 第20-26页 |
| ·化学浴法 | 第20页 |
| ·溶胶-凝胶法(Sol-Gel) | 第20-21页 |
| ·蒸镀法 | 第21页 |
| ·电沉积法 | 第21-22页 |
| ·溅射法 | 第22-23页 |
| ·喷涂热解法(Spray Pyrolysis) | 第23-24页 |
| ·分子束外延法(Molecular Beam Epitaxy) | 第24页 |
| ·化学气相沉积法(Chemical Vapor Deposition) | 第24-25页 |
| ·溶剂热法(Solvothermal Method) | 第25页 |
| ·连续离子层反应法 | 第25-26页 |
| ·课题目的、意义及内容 | 第26-27页 |
| 2 实验方法 | 第27-37页 |
| ·实验方案 | 第27页 |
| ·实验设备 | 第27-29页 |
| ·实验药品 | 第29页 |
| ·样品的制备 | 第29-34页 |
| ·基片处理 | 第30页 |
| ·Mo背电极的磁控溅射法制备 | 第30-32页 |
| ·CuInS_2薄膜的制备 | 第32-33页 |
| ·ZnS薄膜的制备 | 第33-34页 |
| ·样品的分析测试 | 第34-37页 |
| ·紫外可见光谱(UV-vis spectrum) | 第34-35页 |
| ·X射线衍射(XRD) | 第35页 |
| ·薄膜表面形貌分析 | 第35-36页 |
| ·高阻测试仪 | 第36页 |
| ·NKD膜厚拟合 | 第36-37页 |
| 3 Mo背电极的制备 | 第37-41页 |
| ·实验部分 | 第37-38页 |
| ·实验结果与分析 | 第38-40页 |
| ·实验小结 | 第40-41页 |
| 4 CuInS_2吸收层的制备 | 第41-55页 |
| ·实验部分 | 第41-42页 |
| ·Cu-In金属预置层的制备 | 第41页 |
| ·Cu-In金属预置层的硫化 | 第41-42页 |
| ·实验结果与分析 | 第42-53页 |
| ·溅射的Cu-In金属预置膜的表面形貌 | 第42-43页 |
| ·热处理对CuInS_2薄膜的物相结构影响 | 第43-46页 |
| ·热处理对CuInS_2薄膜的光学性能影响 | 第46-49页 |
| ·热处理对CuInS_2薄膜的表面形貌影响 | 第49-52页 |
| ·CuInS_2薄膜电学性能 | 第52-53页 |
| ·实验小结 | 第53-55页 |
| 5 ZnS缓冲层的制备 | 第55-72页 |
| ·实验部分 | 第55-56页 |
| ·实验结果与分析 | 第56-70页 |
| ·氨水对ZnS薄膜的影响 | 第56-58页 |
| ·硫脲对ZnS薄膜的影响 | 第58-59页 |
| ·水合肼对ZnS薄膜的影响 | 第59-61页 |
| ·酒石酸对ZnS薄膜的影响 | 第61-62页 |
| ·沉积时间对ZnS薄膜的影响 | 第62-64页 |
| ·沉积温度对ZnS薄膜的影响 | 第64-65页 |
| ·多次沉积对薄膜性能影响 | 第65-67页 |
| ·热处理对ZnS薄膜光学性能的影响 | 第67-68页 |
| ·ZnS薄膜物相结构分析 | 第68-70页 |
| ·实验小结 | 第70-72页 |
| 6 结论 | 第72-73页 |
| 参考文献 | 第73-78页 |
| 致谢 | 第78-79页 |
| 研究生期间发表的论文 | 第79页 |
