基于光栅衍射光干涉的位移测量技术研究
| 摘要 | 第1-6页 |
| Abstract | 第6-15页 |
| 第1章 绪论 | 第15-27页 |
| ·研究背景及意义 | 第15-16页 |
| ·研究现状及趋势 | 第16-23页 |
| ·主要研究内容和结构安排 | 第23-27页 |
| ·主要研究内容 | 第23-24页 |
| ·论文结构安排 | 第24-27页 |
| 第2章 衍射光栅干涉位移测量原理 | 第27-71页 |
| ·几何光学原理 | 第28-31页 |
| ·衍射干涉原理 | 第31-37页 |
| ·标量衍射理论模型 | 第37-44页 |
| ·矩形光栅透射函数 | 第38-39页 |
| ·光强模型 | 第39-44页 |
| ·矢量衍射理论模型 | 第44-56页 |
| ·矩形光栅衍射级次 | 第45-48页 |
| ·矩形光栅衍射效率 | 第48-52页 |
| ·有限尺寸高斯光束衍射效率 | 第52-56页 |
| ·傅立叶光学原理 | 第56-66页 |
| ·单光栅调制光场 | 第56-57页 |
| ·双光栅调制光场 | 第57-62页 |
| ·位移频谱变化 | 第62-63页 |
| ·菲涅尔自成像 | 第63-66页 |
| ·多普勒频移原理 | 第66-67页 |
| ·半波相位差面原理 | 第67-71页 |
| 第3章 单光栅位移测量系统 | 第71-93页 |
| ·系统工作原理 | 第71-76页 |
| ·光学系统设计 | 第76-86页 |
| ·光学倍频 | 第76-77页 |
| ·偏振光移相 | 第77-81页 |
| ·反射镜 | 第81-84页 |
| ·位相延迟片 | 第84-86页 |
| ·光源 | 第86-88页 |
| ·激光器的选择 | 第86页 |
| ·激光光强的补偿 | 第86-88页 |
| ·接收器 | 第88-89页 |
| ·电子学细分 | 第89-90页 |
| ·精度检测 | 第90-93页 |
| 第4章 反射式双光栅位移测量系统 | 第93-121页 |
| ·光强模型 | 第96-102页 |
| ·信号调制 | 第102-103页 |
| ·相位关系 | 第103-113页 |
| ·单光束衍射 | 第103-106页 |
| ·一阶Littrow 模式 | 第106-111页 |
| ·二阶Littrow 模式 | 第111-113页 |
| ·光源尺寸 | 第113-115页 |
| ·光源未对准 | 第115-117页 |
| ·光源离焦 | 第117-121页 |
| 第5章 误差分析及滤波 | 第121-139页 |
| ·误差分析 | 第121-125页 |
| ·周期外误差 | 第121-122页 |
| ·周期内误差 | 第122-125页 |
| ·滤波方法 | 第125-139页 |
| ·FIR 滤波器 | 第125-129页 |
| ·Kalman 滤波器 | 第129-139页 |
| 第6章 总结与展望 | 第139-143页 |
| ·总结 | 第139-140页 |
| ·展望 | 第140-143页 |
| 参考文献 | 第143-151页 |
| 在学期间学术成果情况 | 第151-153页 |
| 指导教师及作者简介 | 第153-155页 |
| 致谢 | 第155页 |
