基于化学气相沉积石墨烯的平面片上微型超级电容器研究
| 摘要 | 第5-6页 |
| Abstract | 第6-7页 |
| 第1章 绪论 | 第10-21页 |
| 1.1 研究目的及意义 | 第10页 |
| 1.2 平面片上电极材料研究现状 | 第10-14页 |
| 1.2.1 金属氧化物电极材料 | 第10-11页 |
| 1.2.2 导电聚合物电极材料 | 第11页 |
| 1.2.3 碳基电极材料 | 第11-14页 |
| 1.3 平面微型超级电容器研究现状 | 第14-20页 |
| 1.4 本文主要研究内容 | 第20-21页 |
| 第2章 平面片上微型超级电容器实验基础 | 第21-29页 |
| 2.1 引言 | 第21页 |
| 2.2 实验材料及设备 | 第21-23页 |
| 2.3 平面片上电极材料制备原理 | 第23-24页 |
| 2.4 平面片上微型超级电容器制备工艺 | 第24-25页 |
| 2.5 表征方法 | 第25-28页 |
| 2.5.1 拉曼光谱测试 | 第25-26页 |
| 2.5.2 四探针测试 | 第26-27页 |
| 2.5.3 光学显微镜测试 | 第27页 |
| 2.5.4 电化学测试 | 第27-28页 |
| 2.6 本章小结 | 第28-29页 |
| 第3章 化学气相沉积平面片上电极材料制备与测试 | 第29-37页 |
| 3.1 引言 | 第29页 |
| 3.2 化学气相沉积法制备平面片上电极材料 | 第29-32页 |
| 3.2.1 石墨烯薄膜生长 | 第29-30页 |
| 3.2.2 石墨烯薄膜转移 | 第30-32页 |
| 3.3 材料测试及分析 | 第32-36页 |
| 3.3.1 拉曼光谱测试 | 第32-35页 |
| 3.3.2 四探针测试 | 第35-36页 |
| 3.4 本章小结 | 第36-37页 |
| 第4章 平面片上微型超级电容器制备与测试 | 第37-54页 |
| 4.1 引言 | 第37页 |
| 4.2 平面片上微型超级电容器制备 | 第37-41页 |
| 4.2.1 光复印工艺 | 第38-39页 |
| 4.2.2 刻蚀工艺 | 第39页 |
| 4.2.3 溅射工艺 | 第39-40页 |
| 4.2.4 凝胶电解质制备工艺 | 第40-41页 |
| 4.3 100μm量级电极宽度的超级电容器测试 | 第41-49页 |
| 4.3.1 循环伏安测试 | 第41-47页 |
| 4.3.2 交流阻抗测试 | 第47-48页 |
| 4.3.3 循环稳定性测试 | 第48-49页 |
| 4.4 10μm量级电极宽度的超级电容器探究 | 第49-53页 |
| 4.4.1 循环伏安特性 | 第49-51页 |
| 4.4.2 交流阻抗测试 | 第51-53页 |
| 4.5 本章小结 | 第53-54页 |
| 结论 | 第54-56页 |
| 参考文献 | 第56-61页 |
| 攻读硕士学位期间发表的学术论文 | 第61-62页 |
| 致谢 | 第62页 |
