SOI基横向多电荷层SACM雪崩光电二极管的设计与研究
| 摘要 | 第5-6页 |
| Abstract | 第6-7页 |
| 第一章 绪论 | 第10-18页 |
| 1.1 研究背景 | 第10-11页 |
| 1.2 国内外研究现状 | 第11-16页 |
| 1.3 研究意义 | 第16-17页 |
| 1.4 论文结构 | 第17-18页 |
| 第二章 工作原理与特性分析 | 第18-34页 |
| 2.1 雪崩光电二极管的工作原理 | 第18页 |
| 2.2 APD的碰撞电离与倍增噪声 | 第18-21页 |
| 2.3 碰撞电离的局域模型与非局域模型 | 第21-22页 |
| 2.4 SPAD的性能参数 | 第22-24页 |
| 2.5 SPAD盖革模式工作原理 | 第24-25页 |
| 2.6 SPAD的淬火电路 | 第25-27页 |
| 2.6.1 无源淬火电路 | 第25-26页 |
| 2.6.2 有源淬火电路 | 第26页 |
| 2.6.3 门控淬火电路 | 第26-27页 |
| 2.7 Silvaco仿真软件介绍 | 第27-30页 |
| 2.8 微电子工艺原理 | 第30-33页 |
| 2.9 本章小结 | 第33-34页 |
| 第三章 器件设计与特性研究 | 第34-42页 |
| 3.1 结构设计 | 第34-35页 |
| 3.2 雪崩电压 | 第35-38页 |
| 3.3 光暗电流 | 第38-39页 |
| 3.4 频率特性 | 第39-41页 |
| 3.5 本章小结 | 第41-42页 |
| 第四章 工艺仿真与特性研究 | 第42-49页 |
| 4.1 工艺实现 | 第42-47页 |
| 4.2 雪崩电压 | 第47-48页 |
| 4.3 本章小结 | 第48-49页 |
| 第五章 淬火电路设计 | 第49-57页 |
| 5.1 系统设计 | 第49-52页 |
| 5.2 读数电路 | 第52-53页 |
| 5.3 淬火电路 | 第53-56页 |
| 5.4 本章小结 | 第56-57页 |
| 第六章 总结与展望 | 第57-58页 |
| 参考文献 | 第58-63页 |
| 致谢 | 第63-64页 |
| 附录A (攻读学位期间发表论文) | 第64-65页 |
| 附录B: (攻读学位期间参与申请的专利) | 第65-66页 |
| 附录C: (Silvaco仿真程序) | 第66-67页 |
