| 摘要 | 第4-5页 |
| abstract | 第5页 |
| 第一章 绪论 | 第12-29页 |
| 1.1 微群槽结构的应用与加工技术现状 | 第12-16页 |
| 1.1.1 微群槽结构的应用 | 第12页 |
| 1.1.2 微群槽结构的加工技术 | 第12-16页 |
| 1.2 微细电化学加工技术 | 第16-23页 |
| 1.2.1 微细电解加工技术 | 第16-22页 |
| 1.2.2 微细电铸加工技术 | 第22-23页 |
| 1.3 微工具制备技术 | 第23-27页 |
| 1.4 课题研究意义与主要研究内容 | 第27-29页 |
| 1.4.1 课题研究意义 | 第27页 |
| 1.4.2 本文主要内容 | 第27-29页 |
| 第二章 钨片状阵列微电极制备原理与装置 | 第29-40页 |
| 2.1 电解加工原理 | 第29-30页 |
| 2.2 钨的加工技术研究现状 | 第30-31页 |
| 2.3 片状阵列电极电解加工原理与装置 | 第31-39页 |
| 2.3.1 螺旋电极电解加工原理 | 第32-34页 |
| 2.3.2 钨片状阵列电极加工试验装置 | 第34-39页 |
| 2.4 本章小结 | 第39-40页 |
| 第三章 钨片状阵列微电极精确制备 | 第40-54页 |
| 3.1 钨的电化学溶解特性 | 第40-42页 |
| 3.2 钨的螺旋电极电解加工参数研究 | 第42-48页 |
| 3.2.1 电解液浓度的影响与选择 | 第43-45页 |
| 3.2.2 占空比的影响与选择 | 第45-46页 |
| 3.2.3 频率的影响与选择 | 第46-48页 |
| 3.3 双因素试验研究 | 第48-51页 |
| 3.3.1 电压与进给速度对加工的影响 | 第48-49页 |
| 3.3.2 数量关系研究 | 第49-51页 |
| 3.4 片状阵列微电极加工 | 第51-53页 |
| 3.4.1 等截面片状阵列微电极加工 | 第51-52页 |
| 3.4.2 变截面片状阵列微电极加工 | 第52-53页 |
| 3.5 本章小结 | 第53-54页 |
| 第四章 柔性金属箔片微群槽电解试验研究 | 第54-70页 |
| 4.1 微群槽电解加工原理与装置 | 第54-58页 |
| 4.1.1 微群槽电解加工原理 | 第54-56页 |
| 4.1.2 微群槽电解加工试验装置 | 第56-58页 |
| 4.2 片状阵列电极电解加工微群槽研究 | 第58-64页 |
| 4.2.1 电源占空比对加工的影响 | 第58-60页 |
| 4.2.2 脉冲周期对加工的影响 | 第60-62页 |
| 4.2.3 箔片运行线速度对加工质量的影响 | 第62-64页 |
| 4.3 不同厚度钨片状阵列电极电解加工微群槽研究 | 第64-69页 |
| 4.3.1 不同厚度钨片状阵列电极电解加工数值分析 | 第64-67页 |
| 4.3.2 不同厚度钨片状阵列电极电解加工微群槽结构 | 第67-69页 |
| 4.4 本章小结 | 第69-70页 |
| 第五章 总结与展望 | 第70-72页 |
| 5.1 本论文研究内容总结 | 第70-71页 |
| 5.2 未来工作内容展望 | 第71-72页 |
| 参考文献 | 第72-77页 |
| 致谢 | 第77-78页 |
| 在学期间的研究成果及发表的学术论文 | 第78页 |