| 致谢 | 第7-8页 |
| 摘要 | 第8-9页 |
| abstract | 第9页 |
| 第一章 绪论 | 第16-25页 |
| 1.1 课题研究背景及意义 | 第16-17页 |
| 1.2 国内外研究概况 | 第17-24页 |
| 1.2.1 大行程高精度定位平台的研究发展 | 第17-20页 |
| 1.2.2 具有角度修正功能的纳米定位工作台的研究发展 | 第20-23页 |
| 1.2.3 误差检定方法的研究现状 | 第23-24页 |
| 1.3 课题来源及本文主要研究内容 | 第24-25页 |
| 1.3.1 课题来源 | 第24页 |
| 1.3.2 主要研究内容 | 第24-25页 |
| 第二章 系统整体设计及工作台工作原理 | 第25-35页 |
| 2.1 系统整体设计 | 第25页 |
| 2.2 宏微工作台 | 第25-30页 |
| 2.2.1 二维宏动工作台 | 第25-27页 |
| 2.2.2 六自由度微动工作台 | 第27-30页 |
| 2.3 工作台工作原理 | 第30-35页 |
| 2.3.1 绕X方向、Y方向转动 | 第30-31页 |
| 2.3.2 沿X方向、Y方向平动及绕Z方向转动 | 第31-32页 |
| 2.3.3 压电陶瓷驱动 | 第32-35页 |
| 第三章 系统控制软件设计 | 第35-55页 |
| 3.1 误差补偿原理 | 第35-36页 |
| 3.1.1 角度误差补偿 | 第35-36页 |
| 3.1.2 直线定位误差补偿 | 第36页 |
| 3.2 反馈控制软件 | 第36-53页 |
| 3.2.1 角度测量 | 第39-42页 |
| 3.2.2 长度测量 | 第42-46页 |
| 3.2.3 角度补偿 | 第46-51页 |
| 3.2.4 长度定位 | 第51-53页 |
| 3.3 软件特点 | 第53-55页 |
| 第四章 实验测试结果 | 第55-65页 |
| 4.1 宏动工作台角度误差测试 | 第56-58页 |
| 4.2 宏动工作台角度误差补偿 | 第58-60页 |
| 4.3 宏动工作台直线定位误差测试 | 第60-63页 |
| 4.4 宏动工作台直线定位误差补偿 | 第63-65页 |
| 第五章 总结与展望 | 第65-66页 |
| 5.1 研究工作总结 | 第65页 |
| 5.2 工作展望 | 第65-66页 |
| 参考文献 | 第66-69页 |
| 攻读硕士学位期间的学术活动及成果情况 | 第69-70页 |