| 摘要 | 第3-4页 |
| ABSTRACT | 第4页 |
| 第1章 绪论 | 第8-14页 |
| 1.1 研究背景及意义 | 第8-10页 |
| 1.1.1 研究背景 | 第8-9页 |
| 1.1.2 研究目的 | 第9-10页 |
| 1.2 工业SF_6废气净化再生系统国内外研究现状 | 第10-12页 |
| 1.2.1 国内研究现状 | 第10-12页 |
| 1.2.2 国外研究现状 | 第12页 |
| 1.3 论文研究内容 | 第12-14页 |
| 第2章 工业SF_6废气净化再生系统总体方案研究 | 第14-26页 |
| 2.1 工业SF_6废气净化再生系统方案设计的理论与实践依据 | 第14-16页 |
| 2.1.1 理论依据 | 第14页 |
| 2.1.2 实践依据 | 第14-16页 |
| 2.1.3 系统研究的关键和难点 | 第16页 |
| 2.1.4 引用标准 | 第16页 |
| 2.2 净化再生系统总体方案研究 | 第16-25页 |
| 2.2.1 净化再生系统的标准 | 第16-19页 |
| 2.2.2 SF_6净化再生系统的工作流程研究 | 第19-22页 |
| 2.2.3 流程集控设计 | 第22-24页 |
| 2.2.4 气体净化参数 | 第24-25页 |
| 2.3 本章小结 | 第25-26页 |
| 第3章 工业SF_6废气净化再生系统关键技术研究 | 第26-38页 |
| 3.1 处理单元研究 | 第27-29页 |
| 3.1.1 处理单元系统原理 | 第27-28页 |
| 3.1.2 按键功能设计 | 第28-29页 |
| 3.2 动力单元设计 | 第29-32页 |
| 3.2.1 动力单元系统原理 | 第30-31页 |
| 3.2.2 动力单元电控设计要求 | 第31-32页 |
| 3.3 冷阱单元设计 | 第32-34页 |
| 3.3.1 冷阱单元系统原理 | 第32-33页 |
| 3.3.2 功能及用途 | 第33-34页 |
| 3.4 SF_6净化再生系统工作原理 | 第34-37页 |
| 3.4.1 净化再生装置系统原理图 | 第34-35页 |
| 3.4.2 净化处理装置电气方案设计 | 第35页 |
| 3.4.3 净化处理中心设备技术参数 | 第35-37页 |
| 3.5 本章小节 | 第37-38页 |
| 第4章 工业SF_6废气净化再生系统调试 | 第38-50页 |
| 4.1 处理单元系统调试 | 第38-41页 |
| 4.1.1 状态调试 | 第38-39页 |
| 4.1.2 处理单元操作要求 | 第39页 |
| 4.1.3 对系统抽真空 | 第39页 |
| 4.1.4 尾气无害化处理 | 第39-40页 |
| 4.1.5 吸附剂再生 | 第40-41页 |
| 4.1.6 报警处理 | 第41页 |
| 4.2 动力单元系统调试 | 第41-43页 |
| 4.2.1 状态调试 | 第41页 |
| 4.2.2 气室处理 | 第41-43页 |
| 4.3 深冷单元系统调试 | 第43-44页 |
| 4.3.1 深冷单元抽真空 | 第43页 |
| 4.3.2 报警处理 | 第43-44页 |
| 4.3.3 试验后处理事项 | 第44页 |
| 4.4 冷阱单元系统调试 | 第44-45页 |
| 4.4.1 手动操作 | 第45页 |
| 4.4.2 自动操作 | 第45页 |
| 4.5 SF_6废气净化处理流程 | 第45-47页 |
| 4.5.1 一次处理流程 | 第46页 |
| 4.5.2 二次处理流程 | 第46-47页 |
| 4.6 试验与结论 | 第47-49页 |
| 4.7 本章小结 | 第49-50页 |
| 第5章 结论与展望 | 第50-52页 |
| 5.1 论文主要工作 | 第50页 |
| 5.2 展望 | 第50-52页 |
| 参考文献 | 第52-55页 |
| 致谢 | 第55-56页 |
| 攻读学位期间的研究成果 | 第56页 |