| 摘要 | 第4-5页 |
| Abstract | 第5-6页 |
| 1 绪论 | 第9-21页 |
| 1.1 研究的目的和意义 | 第9-10页 |
| 1.2 薄膜测厚技术综述 | 第10-16页 |
| 1.3 红外测厚技术的研究现状 | 第16-19页 |
| 1.4 论文的主要内容 | 第19-21页 |
| 2 红外测厚基本原理及系统硬件设计 | 第21-35页 |
| 2.1 红外测厚的基本原理 | 第21-23页 |
| 2.2 关键器件选型 | 第23-26页 |
| 2.3 光路设计及成像原理 | 第26-31页 |
| 2.4 仪器机械结构设计 | 第31-33页 |
| 2.5 本章小结 | 第33-35页 |
| 3 测厚仪软件设计 | 第35-44页 |
| 3.1 软件总体设计 | 第35-36页 |
| 3.2 图像处理算法设计 | 第36-41页 |
| 3.3 软件各界面模块设计 | 第41-43页 |
| 3.4 本章小结 | 第43-44页 |
| 4 仪器性能分析与实验 | 第44-53页 |
| 4.1 灵敏度及分辨率分析 | 第44-48页 |
| 4.2 系统稳定性及光源光强变化对测量影响的分析与实验 | 第48-50页 |
| 4.3 曝光时间变化对测量影响的分析与实验 | 第50-51页 |
| 4.4 被测物内应力对测量影响的分析与实验 | 第51-52页 |
| 4.5 本章小结 | 第52-53页 |
| 5 标定与测量实验及结果分析 | 第53-59页 |
| 5.1 聚乙烯薄膜叠合增厚标定实验 | 第53-55页 |
| 5.2 聚四氟乙烯薄膜标定及测量实验 | 第55-57页 |
| 5.3 仪器精度评估 | 第57-58页 |
| 5.4 本章小结 | 第58-59页 |
| 6 总结与展望 | 第59-61页 |
| 6.1 全文总结 | 第59-60页 |
| 6.2 展望 | 第60-61页 |
| 致谢 | 第61-62页 |
| 参考文献 | 第62-66页 |
| 附录 1 攻读硕士学位期间发表的学术论文与取得的成果 | 第66页 |