| 摘要 | 第5-7页 |
| Abstract | 第7-8页 |
| 1. 文献综述 | 第11-28页 |
| 1.1 引言 | 第11-19页 |
| 1.1.1 超声导波及无损检测 | 第12-14页 |
| 1.1.2 磁致伸缩效应 | 第14-17页 |
| 1.1.3 磁致伸缩式超声导波换能器 | 第17-19页 |
| 1.2 研究进展及应用 | 第19-26页 |
| 1.2.1 稀土超磁致伸缩薄膜 | 第19页 |
| 1.2.2 稀土超磁致伸缩薄膜磁各向异性 | 第19-21页 |
| 1.2.3 稀土超磁致伸缩薄膜研究进展 | 第21-25页 |
| 1.2.4 磁致伸缩材料在超声导波的应用 | 第25-26页 |
| 1.3 选题意义及课题特色 | 第26-28页 |
| 2. 研究方案 | 第28-35页 |
| 2.1 研究内容及实验方案 | 第28-29页 |
| 2.1.1 研究内容 | 第28页 |
| 2.1.2 实验方案 | 第28-29页 |
| 2.2 材料制备及原理 | 第29-31页 |
| 2.2.1 溅射靶材及基片准备 | 第29-30页 |
| 2.2.2 磁致伸缩薄膜制备 | 第30-31页 |
| 2.2.3 薄膜的热处理 | 第31页 |
| 2.3 表征设备及原理 | 第31-35页 |
| 2.3.1 薄膜厚度分析 | 第31页 |
| 2.3.2 样品成分分析 | 第31-32页 |
| 2.3.3 样品结构及微观形貌分析 | 第32-33页 |
| 2.3.4 样品磁性能分析 | 第33页 |
| 2.3.5 薄膜磁致伸缩性能测量 | 第33-34页 |
| 2.3.6 样品的超声导波信号检测 | 第34-35页 |
| 3. 沉积参数的确定及Tb_(0.3)Dy_(0.7)Fe_(1.5)薄膜制备表征 | 第35-43页 |
| 3.1 沉积参数对薄膜成分及沉积率的控制 | 第35-37页 |
| 3.2 Tb_(0.27)Dy_(0.73)Fe_(1.45)靶材沉积薄膜磁致伸缩性能研究 | 第37-41页 |
| 3.2.1 Tb_(0.27)Dy_(0.73)Fe_(1.45)靶材沉积薄膜成分分析 | 第37-38页 |
| 3.2.2 热处理对Tb_(0.3)Dy_(0.7)Fe_(1.5)薄膜晶体结构的影响 | 第38-39页 |
| 3.2.3 热处理对Tb_(0.3)Dy_(0.7)Fe_(1.5)薄膜磁致伸缩性能的影响 | 第39-41页 |
| 3.3 本章小结 | 第41-43页 |
| 4. 薄膜制备优化及Tb_(0.3)Dy_(0.7)Fe_(1.95)薄膜磁致伸缩性能研究 | 第43-54页 |
| 4.1 Ta层引入对沉积薄膜磁致伸缩性能优化 | 第43-45页 |
| 4.2 成分改变对沉积薄膜磁致伸缩性能优化 | 第45-48页 |
| 4.3 Tb_(0.3)Dy_(0.7)Fe_(1.95)薄膜性能分析 | 第48-52页 |
| 4.3.1 热处理对Tb_(0.3)Dy_(0.7)Fe_(1.95)薄膜内应力影响 | 第48-49页 |
| 4.3.2 热处理对Tb_(0.3)Dy_(0.7)Fe_(1.95)薄膜磁性能分析 | 第49-51页 |
| 4.3.3 热处理对Tb_(0.3)Dy_(0.7)Fe_(1.95)薄膜微结构分析 | 第51-52页 |
| 4.4 本章小结 | 第52-54页 |
| 5. Tb_(0.3)Dy_(0.7)Fe_(1.95)/FeCo复合材料制备及检测性能研究 | 第54-66页 |
| 5.1 TbDyFe/FeCo复合材料制备及性能研究 | 第54-57页 |
| 5.1.1 热处理对TbDyFe/FeCo复合材料相结构影响 | 第55-56页 |
| 5.1.2 TbDyFe/FeCo复合材料磁性能研究 | 第56-57页 |
| 5.2 超声导波检测研究 | 第57-65页 |
| 5.2.1 MSGW超声导波检测 | 第57-59页 |
| 5.2.2 激发频率对检测信号影响 | 第59-62页 |
| 5.2.3 激发功率对检测信号影响 | 第62-65页 |
| 5.3 本章小结 | 第65-66页 |
| 结论 | 第66-67页 |
| 参考文献 | 第67-73页 |
| 攻读硕士学位期间取得的学术成果 | 第73-74页 |
| 致谢 | 第74页 |
