镍基微结构的飞秒激光烧蚀机理与工艺研究
| 摘要 | 第4-6页 |
| Abstract | 第6-7页 |
| 第1章 绪论 | 第10-18页 |
| 1.1 课题背景及意义 | 第10-13页 |
| 1.2 国内外研究现状 | 第13-16页 |
| 1.3 论文的主要内容 | 第16-18页 |
| 第2章 飞秒激光加工金属镍模拟计算 | 第18-28页 |
| 2.1 飞秒激光与金属的作用机理 | 第18-20页 |
| 2.2 双温方程的理论模型 | 第20-21页 |
| 2.3 双温方程的简化和计算过程 | 第21-22页 |
| 2.4 模拟计算结果 | 第22-27页 |
| 2.5 本章小结 | 第27-28页 |
| 第3章 飞秒激光加工孔实验研究 | 第28-50页 |
| 3.1 飞秒激光加工孔的工艺 | 第28-30页 |
| 3.2 镍薄膜实验结果及分析 | 第30-32页 |
| 3.3 镍板的表面质量和物镜对烧蚀孔的影响 | 第32-33页 |
| 3.4 镍板实验结果及分析 | 第33-42页 |
| 3.4.1 烧蚀孔直径分析 | 第33-35页 |
| 3.4.2 镍的烧蚀阈值 | 第35-40页 |
| 3.4.3 烧蚀孔深度分析 | 第40-42页 |
| 3.5 烧蚀孔的形貌分析 | 第42-49页 |
| 3.5.1 激光功率对烧蚀孔形貌的影响 | 第43-46页 |
| 3.5.2 脉冲次数对烧蚀孔形貌的影响 | 第46-49页 |
| 3.6 本章小结 | 第49-50页 |
| 第4章 飞秒激光线扫描加工实验研究 | 第50-60页 |
| 4.1 线扫描工艺 | 第50-51页 |
| 4.2 压电位移平台实验结果与分析 | 第51-59页 |
| 4.2.1 加工参数对烧蚀线线宽的影响 | 第51-53页 |
| 4.2.2 烧蚀线的形貌分析 | 第53-59页 |
| 4.3 本章小结 | 第59-60页 |
| 第5章 结论与展望 | 第60-62页 |
| 参考文献 | 第62-68页 |
| 致谢 | 第68页 |
