| 摘要 | 第6-7页 |
| Abstract | 第7页 |
| 第一章 绪论 | 第8-25页 |
| 1.1 椭偏测量方法介绍 | 第9-13页 |
| 1.1.1 椭偏测量方法的基本原理与测量流程 | 第9-10页 |
| 1.1.2 椭偏测量方法的特点 | 第10-12页 |
| 1.1.3 椭偏测量方法的应用 | 第12-13页 |
| 1.2 椭偏技术的发展 | 第13-24页 |
| 1.2.1 消光式椭偏测量方法 | 第13-14页 |
| 1.2.2 光度式椭偏测量方法 | 第14-16页 |
| 1.2.3 广义椭偏测量方法 | 第16-18页 |
| 1.2.4 椭偏光谱测量 | 第18-20页 |
| 1.2.5 椭偏测量技术发展的剖析 | 第20-24页 |
| 1.3 本论文的工作概述 | 第24-25页 |
| 1.3.1 目的和意义 | 第24页 |
| 1.3.2 本文工作的具体内容 | 第24-25页 |
| 第二章 偏振态快速测量的新型椭圆偏振方法的理论研究 | 第25-34页 |
| 2.1 旋转检偏器的光度式椭偏仪的原理介绍 | 第26-29页 |
| 2.2 基于RAE的偏振态并行测量的原理 | 第29-33页 |
| 2.2.1 并行测量方法 | 第29-30页 |
| 2.2.2 偏振态并行测量椭偏方法的测量公式 | 第30-33页 |
| 2.3 本章小结 | 第33-34页 |
| 第三章 新型椭圆偏振态快速测量系统的研制 | 第34-76页 |
| 3.1 组合式检偏器的制作 | 第34-45页 |
| 3.1.1 组合式检偏器的设计理念 | 第34-35页 |
| 3.1.2 偏振薄膜制作组合式检偏器 | 第35-38页 |
| 3.1.3 偏振晶体制作组合式检偏器 | 第38-45页 |
| 3.2 椭偏平台以及其调整 | 第45-59页 |
| 3.2.1 椭偏测试平台介绍 | 第45-46页 |
| 3.2.2 椭偏测试平台机械部分精确调整的意义 | 第46-47页 |
| 3.2.3 椭偏测试平台中心轴的粗定位 | 第47-50页 |
| 3.2.4 对实际光路的准直定位和验证 | 第50-54页 |
| 3.2.5 准直光线的精细调节 | 第54-56页 |
| 3.2.6 偏振器旋转方位角的精细调节 | 第56-59页 |
| 3.3 光探测器 | 第59-64页 |
| 3.3.1 电荷耦合器件(CCD) | 第59-61页 |
| 3.3.2 实验中的CCD系统 | 第61-64页 |
| 3.4 光源系统 | 第64-71页 |
| 3.4.1 三种光源的尝试 | 第64-66页 |
| 3.4.2 氙灯光源系统 | 第66-67页 |
| 3.4.3 氙灯电源系统 | 第67-69页 |
| 3.4.4 氙灯和单色仪的光路调节 | 第69-71页 |
| 3.5 控制平台和相关功能 | 第71-75页 |
| 3.5.1 控制和数据获取程序界面 | 第71-73页 |
| 3.5.2 余弦曲线的源数据拟合方法 | 第73-75页 |
| 3.6 本章小结 | 第75-76页 |
| 第四章 并行模式下偏振器方位角的定标与实验测量 | 第76-118页 |
| 4.1 起偏器方位角定标 | 第76-95页 |
| 4.1.1 偏振器方位角定标的意义 | 第76-77页 |
| 4.1.2 偏振器方位角度的空间初始化 | 第77-81页 |
| 4.1.3 起偏器偏振方位角的定标方法 | 第81-95页 |
| 4.2 组合式检偏器方位角的定标 | 第95-106页 |
| 4.2.1 RAE模式中定标检偏器方位角的两种方法 | 第95-98页 |
| 4.2.2 旋转起偏器定标单一检偏器方位角的验证 | 第98-102页 |
| 4.2.3 旋转起偏器定标组合式检偏器 | 第102-106页 |
| 4.3 光强权重因子的测量和结果 | 第106-111页 |
| 4.4 并行模式椭偏实验测量结果与分析 | 第111-116页 |
| 4.4.1 实验测量结果 | 第111-114页 |
| 4.4.2 对实验测量结果的分析与讨论 | 第114-116页 |
| 4.5 本章小结 | 第116-118页 |
| 第五章 信号处理方法对RPAE测量误差影响的研究 | 第118-145页 |
| 5.1 RPAE的测量原理 | 第120-123页 |
| 5.1.1 椭偏参数的测量 | 第120-122页 |
| 5.1.2 体材料光学常数的计算 | 第122-123页 |
| 5.2 RPAE信号处理误差的理论模拟和实验测量方法 | 第123-130页 |
| 5.2.1 RPAE的误差来源及传递过程 | 第123页 |
| 5.2.2 真值椭偏参数的选择 | 第123-124页 |
| 5.2.3 信号处理误差的理论模拟方法 | 第124-128页 |
| 5.2.4 信号处理误差的实验测量方法 | 第128页 |
| 5.2.5 理论和实验测量结果的参量符号定义 | 第128-129页 |
| 5.2.6 图示说明 | 第129-130页 |
| 5.3 理论模拟结果 | 第130-138页 |
| 5.3.1 引入零随机噪声的计算模拟结果 | 第130-132页 |
| 5.3.2 引入非零随机噪声的计算模拟结果 | 第132-135页 |
| 5.3.3 模拟结果的综合比较 | 第135-138页 |
| 5.4 RPAE模式的实验测量与理论模拟结果对比 | 第138-143页 |
| 5.5 本章小结 | 第143-145页 |
| 第六章 论文工作总结与展望 | 第145-148页 |
| 参考文献 | 第148-152页 |
| 附：攻读博士学位期间学术成果 | 第152-154页 |
| 致谢 | 第154-156页 |
