| 摘要 | 第3-5页 |
| ABSTRACT | 第5-6页 |
| 1 绪论 | 第9-23页 |
| 1.1 引言 | 第9-10页 |
| 1.2 研究背景 | 第10-19页 |
| 1.2.1 硬质涂层 | 第10-11页 |
| 1.2.2 气相沉积 | 第11-12页 |
| 1.2.3 硬质涂层的研究 | 第12-14页 |
| 1.2.4 涂层增韧 | 第14-16页 |
| 1.2.5 生长结构 | 第16-19页 |
| 1.3 选题依据 | 第19-21页 |
| 1.4 研究方法 | 第21页 |
| 1.5 研究目的及意义 | 第21-23页 |
| 2 实验设备与检测方法 | 第23-35页 |
| 2.1 磁控溅射设备及涂层制备 | 第23-24页 |
| 2.1.1 磁控溅射设备 | 第23页 |
| 2.1.2 涂层制备 | 第23-24页 |
| 2.2 涂层测试设备与测试方法 | 第24-35页 |
| 2.2.1 X射线衍射（XRD） | 第24页 |
| 2.2.2 扫描电子显微镜（SEM） | 第24-25页 |
| 2.2.3 透射电子显微镜(TEM) | 第25-26页 |
| 2.2.4 X射线光电子能谱（XPS） | 第26-27页 |
| 2.2.5 原子力显微镜（AFM） | 第27页 |
| 2.2.6 残余应力仪 | 第27-28页 |
| 2.2.7 纳米压痕仪 | 第28-29页 |
| 2.2.8 维氏压痕仪 | 第29-31页 |
| 2.2.9 划痕仪 | 第31-32页 |
| 2.2.10 摩擦试验 | 第32-33页 |
| 2.2.11 固体冲蚀设备 | 第33-35页 |
| 3 TiB_2-Ti涂层的结构及变形行为 | 第35-52页 |
| 3.1 TiB_2-Ti涂层的结构 | 第35-42页 |
| 3.1.1 TiB_2-Ti涂层的制备 | 第35页 |
| 3.1.2 TiB_2-Ti涂层成分分析（EDS） | 第35-36页 |
| 3.1.3 TiB_2-Ti涂层物相分析（XRD） | 第36-37页 |
| 3.1.4 TiB_2-Ti涂层表面与截面形貌(SEM) | 第37-38页 |
| 3.1.5 TiB_2-Ti涂层结构分析(TEM) | 第38-39页 |
| 3.1.6 TiB_2-Ti涂层化学态分析（XPS） | 第39-40页 |
| 3.1.7 Ti-B的亚稳态相图 | 第40-41页 |
| 3.1.8 TiB_2-Ti涂层残余应力分析 | 第41-42页 |
| 3.2 TiB_2-Ti涂层的变形行为 | 第42-49页 |
| 3.2.1 TiB_2-Ti涂层的硬度和模量 | 第42-43页 |
| 3.2.2 TiB_2-Ti涂层的压痕测试 | 第43-45页 |
| 3.2.3 TiB_2-Ti涂层的划痕测试 | 第45-49页 |
| 3.3 增韧机制 | 第49-50页 |
| 3.4 小结 | 第50-52页 |
| 4 TiB_2-Ni涂层的结构及力学行为 | 第52-70页 |
| 4.1 TiB_2-Ni涂层的结构 | 第52-58页 |
| 4.1.1 TiB_2-Ni涂层的制备 | 第52页 |
| 4.1.2 TiB_2-Ni涂层的成分和物相 | 第52-53页 |
| 4.1.3 TiB_2-Ni涂层的表面与截面形貌 | 第53-54页 |
| 4.1.4 TiB_2-Ni涂层的结构 | 第54-58页 |
| 4.2 TiB_2-Ni涂层的力学行为 | 第58-69页 |
| 4.2.1 TiB_2-Ni涂层的硬度和模量 | 第58-59页 |
| 4.2.2 TiB_2-Ni涂层的结合力 | 第59-61页 |
| 4.2.3 TiB_2-Ni涂层的韧性 | 第61-66页 |
| 4.2.4 TiB_2-Ni涂层的摩擦学性能 | 第66-67页 |
| 4.2.5 TiB_2-Ni涂层的抗冲蚀性能 | 第67-69页 |
| 4.3 小结 | 第69-70页 |
| 5 结论 | 第70-71页 |
| 参考文献 | 第71-76页 |
| 附录 在学期间研究成果 | 第76-77页 |
| 致谢 | 第77页 |
