| 中文摘要 | 第3-5页 |
| 英文摘要 | 第5-6页 |
| 1 绪论 | 第9-17页 |
| 1.1 引言 | 第9-10页 |
| 1.2 钽的结构性能和应用 | 第10-11页 |
| 1.3 高纯钽溅射靶材 | 第11-14页 |
| 1.3.1 溅射靶材的结构性能及应用 | 第11-12页 |
| 1.3.2 高纯钽靶材的制备 | 第12-14页 |
| 1.4 高纯钽的织构及储存能 | 第14-16页 |
| 1.4.1 高纯钽的主要织构 | 第14页 |
| 1.4.2 高纯钽储存能的定义 | 第14-15页 |
| 1.4.3 储存能的取向依赖性 | 第15-16页 |
| 1.5 课题研究意义和内容 | 第16-17页 |
| 1.5.1 课题研究意义 | 第16页 |
| 1.5.2 课题研究内容 | 第16-17页 |
| 2 试验材料及方法 | 第17-27页 |
| 2.1 实验准备 | 第17-18页 |
| 2.1.1 实验材料 | 第17-18页 |
| 2.1.2 技术路线 | 第18页 |
| 2.2 轧制及退火实验 | 第18-20页 |
| 2.2.1 轧制实验 | 第18-20页 |
| 2.2.2 退火实验 | 第20页 |
| 2.3 样品预处理 | 第20-22页 |
| 2.4 研究方法 | 第22-25页 |
| 2.4.1 微观组织 | 第22页 |
| 2.4.2 X-Ray衍射（XRD） | 第22-24页 |
| 2.4.3 电子背散射衍射（EBSD） | 第24-25页 |
| 2.4.4 差示扫描量热法（DSC） | 第25页 |
| 2.4.5 透射电子显微镜（TEM） | 第25页 |
| 2.5 本章小结 | 第25-27页 |
| 3 高纯钽板轧制态的显微组织演变和储存能的测量 | 第27-45页 |
| 3.1 引言 | 第27页 |
| 3.2 原始样品的微观形貌与织构分布 | 第27-29页 |
| 3.3 不同轧制变形量下宏观织构及显微组织演变 | 第29-36页 |
| 3.3.1 不同变形量下钽板材织构演变 | 第29-32页 |
| 3.3.2 不同变形量下微观组织演变对比分析 | 第32-33页 |
| 3.3.3 不同变形量下晶粒取向分裂对比分析 | 第33-36页 |
| 3.4 不同轧制方式下的高纯钽板材轧制态储存能 | 第36-41页 |
| 3.4.1 单向轧制和交叉轧制高纯钽板储存能XRD测试结果 | 第36-38页 |
| 3.4.2 单向轧制和交叉轧制高纯钽板储存能EBSD测试结果 | 第38-40页 |
| 3.4.3 单向轧制和交叉轧制高纯钽板储存能DSC测试结果 | 第40-41页 |
| 3.5 轧制态钽板的TEM表征 | 第41-43页 |
| 3.6 本章小结 | 第43-45页 |
| 4 回复过程中高纯钽板的微观结构和储存能演变 | 第45-71页 |
| 4.1 引言 | 第45页 |
| 4.2 不同轧制方式下钽板回复处理后的微观结构演变 | 第45-51页 |
| 4.2.1 单向轧制 87%时不同回复温度下试样的微观结构演变 | 第45-49页 |
| 4.2.2 交叉轧制 87%时不同回复温度下试样的微观结构演变 | 第49-51页 |
| 4.3 回复过程中高纯钽板储存能的演变 | 第51-65页 |
| 4.3.1 单向轧制和交叉轧制钽板回复过程中宏观储存能演变 | 第51-58页 |
| 4.3.2 单向轧制和交叉轧制钽板回复过程中微观储存能演变 | 第58-65页 |
| 4.4 不同回复温度下高纯钽板不同取向分裂程度对比 | 第65-70页 |
| 4.5 本章小结 | 第70-71页 |
| 5 回复处理后高纯钽板完全再结晶态的显微结构演变 | 第71-79页 |
| 5.1 回复处理对高纯钽板再结晶晶粒尺寸的影响 | 第71-75页 |
| 5.2 单向轧制和交叉轧制取向分布对比 | 第75-77页 |
| 5.3 本章小结 | 第77-79页 |
| 6 结论 | 第79-81页 |
| 致谢 | 第81-83页 |
| 参考文献 | 第83-89页 |
| 附录 | 第89页 |
| A. 作者在攻读硕士学位期间发表的论文目录 | 第89页 |
