| 摘要 | 第5-7页 |
| Abstract | 第7-8页 |
| 第1章 绪论 | 第12-28页 |
| 1.1 涂层刀具概述 | 第12-18页 |
| 1.1.1 涂层刀具的发展 | 第13-17页 |
| 1.1.2 涂层刀具的应用现状 | 第17-18页 |
| 1.2 氮化物刀具涂层材料的研究现状 | 第18-22页 |
| 1.2.1 涂层成分的多元化 | 第19-20页 |
| 1.2.2 涂层结构的纳米化 | 第20-21页 |
| 1.2.3 涂层结构的多层化 | 第21-22页 |
| 1.3 目前刀具涂层存在的问题 | 第22-23页 |
| 1.3.1 涂层与刀具基体的结合力差 | 第22-23页 |
| 1.3.2 涂层抗氧化性差 | 第23页 |
| 1.4 刀具涂层技术 | 第23-27页 |
| 1.4.1 化学气相沉积技术 | 第23-24页 |
| 1.4.2 物理气相沉积技术 | 第24-25页 |
| 1.4.3 磁控溅射真空镀膜技术 | 第25-27页 |
| 1.5 本文主要研究内容 | 第27-28页 |
| 第2章 实验部分 | 第28-36页 |
| 2.1 实验设备 | 第28页 |
| 2.2 实验材料和实验步骤 | 第28-30页 |
| 2.2.1 靶材的选择 | 第28-29页 |
| 2.2.2 基片的选择与预处理 | 第29页 |
| 2.2.3 实验步骤 | 第29-30页 |
| 2.3 工艺参数的选择 | 第30-31页 |
| 2.3.1 基片负偏压 | 第30页 |
| 2.3.2 靶材功率 | 第30页 |
| 2.3.3 N_2分压 | 第30-31页 |
| 2.3.4 其它工艺参数的选择 | 第31页 |
| 2.4 涂层的表征和性能检测 | 第31-36页 |
| 2.4.1 形貌、厚度与成分分析 | 第31-32页 |
| 2.4.2 物相组织分析(XRD) | 第32-33页 |
| 2.4.3 硬度与杨氏模量的分析 | 第33-34页 |
| 2.4.4 涂层-基体结合性能的分析 | 第34-36页 |
| 第3章 TiAlN涂层组织、力学性能随沉积参数的演变及切削实验 | 第36-60页 |
| 3.1 前言 | 第36页 |
| 3.2 基片偏压对TiAlN组织与性能的影响 | 第36-42页 |
| 3.2.1 沉积速率 | 第36-37页 |
| 3.2.2 成分 | 第37-38页 |
| 3.2.3 断面和表面形貌 | 第38-40页 |
| 3.2.4 物相 | 第40页 |
| 3.2.5 硬度和杨氏模量 | 第40-41页 |
| 3.2.6 膜-基结合力 | 第41-42页 |
| 3.2.7 小结 | 第42页 |
| 3.3 靶材功率对TiAlN组织与性能的影响 | 第42-48页 |
| 3.3.1 沉积速率 | 第42-43页 |
| 3.3.2 成分 | 第43-44页 |
| 3.3.3 断面和表面形貌 | 第44-45页 |
| 3.3.4 物相 | 第45-46页 |
| 3.3.5 硬度和杨氏模量 | 第46-47页 |
| 3.3.6 膜-基结合力 | 第47页 |
| 3.3.7 小结 | 第47-48页 |
| 3.4 N_2分压对TiAlN组织与性能的影响 | 第48-55页 |
| 3.4.1 沉积速率 | 第48-49页 |
| 3.4.2 成分 | 第49-50页 |
| 3.4.3 断面和表面形貌 | 第50-51页 |
| 3.4.4 物相 | 第51-53页 |
| 3.4.5 硬度和弹性模量 | 第53-54页 |
| 3.4.6 膜-基结合力 | 第54-55页 |
| 3.4.7 小结 | 第55页 |
| 3.5 TiAlN涂层刀具的制备及切削实验结果 | 第55-59页 |
| 3.5.1 TiAlN涂层刀具的制备 | 第55-56页 |
| 3.5.2 切削参数和切削结果 | 第56-58页 |
| 3.5.3 小结 | 第58-59页 |
| 3.6 本章小结 | 第59-60页 |
| 第4章 TiAlSiN涂层组织与力学性能随Si含量演变 | 第60-68页 |
| 4.1 前言 | 第60页 |
| 4.2 Si含量对TiAlSiN组织与性能的影响 | 第60-66页 |
| 4.2.1 成分 | 第60-61页 |
| 4.2.2 物相 | 第61-62页 |
| 4.2.3 微观结构 | 第62-64页 |
| 4.2.4 硬度和杨氏模量 | 第64-66页 |
| 4.2.5 膜-基结合力 | 第66页 |
| 4.3 本章小结 | 第66-68页 |
| 第5章 结论与展望 | 第68-70页 |
| 5.1 主要结论 | 第68页 |
| 5.2 结果展望 | 第68-70页 |
| 参考文献 | 第70-76页 |
| 致谢 | 第76页 |