氧化镓光电探测与信息存储器件研究
| 摘要 | 第4-6页 |
| ABSTRACT | 第6-8页 |
| 第一章 绪论 | 第12-45页 |
| 1.1 引言 | 第12页 |
| 1.2 氧化镓的基本性质 | 第12-15页 |
| 1.2.1 晶体结构 | 第12-14页 |
| 1.2.2 基本物性 | 第14-15页 |
| 1.3 氧化镓的应用前景 | 第15-35页 |
| 1.3.1 深紫外透明导电电极 | 第15-19页 |
| 1.3.2 日盲光电探测器 | 第19-30页 |
| 1.3.3 场效应晶体管 | 第30-32页 |
| 1.3.4 发光二极管 | 第32-34页 |
| 1.3.5 气敏传感器 | 第34页 |
| 1.3.6 其他用途 | 第34-35页 |
| 1.4 研究内容与结构安排 | 第35-36页 |
| 参考文献 | 第36-45页 |
| 第二章 实验方法及测试手段 | 第45-50页 |
| 2.1 引言 | 第45页 |
| 2.2 薄膜的制备方法 | 第45-48页 |
| 2.2.1 激光分子束外延 | 第45-47页 |
| 2.2.2 磁控溅射 | 第47-48页 |
| 2.3 薄膜的表征手段 | 第48页 |
| 2.4 本章小结 | 第48页 |
| 参考文献 | 第48-50页 |
| 第三章 氧化镓薄膜的生长与表征 | 第50-66页 |
| 3.1 引言 | 第50页 |
| 3.2 薄膜的生长实验流程 | 第50-52页 |
| 3.2.1 前期准备 | 第50-51页 |
| 3.2.2 沉积过程 | 第51-52页 |
| 3.3 薄膜的生长条件探索 | 第52-59页 |
| 3.3.1 c面蓝宝石衬底 | 第52-55页 |
| 3.3.2 m面蓝宝石衬底 | 第55-58页 |
| 3.3.3 (111)面Pt衬底 | 第58-59页 |
| 3.4 薄膜的基本性质表征 | 第59-63页 |
| 3.4.1 表面形貌 | 第59-60页 |
| 3.4.2 元素组分 | 第60-61页 |
| 3.4.3 光学性质 | 第61-63页 |
| 3.5 本章小结 | 第63-64页 |
| 参考文献 | 第64-66页 |
| 第四章 氧化镓日盲光电探测器 | 第66-86页 |
| 4.1 引言 | 第66-67页 |
| 4.2 β-Ga_2O_3基日盲光电探测器 | 第67-72页 |
| 4.2.1 器件制备 | 第68页 |
| 4.2.2 器件性能 | 第68-71页 |
| 4.2.3 光电机理 | 第71-72页 |
| 4.3 β-Ga_2O_3基日盲光电探测器的优化 | 第72-81页 |
| 4.3.1 薄膜处理 | 第73-75页 |
| 4.3.2 器件性能 | 第75-79页 |
| 4.3.3 光电机理 | 第79-81页 |
| 4.4 α-Ga_2O_3基日盲光电探测器 | 第81-83页 |
| 4.5 本章小结 | 第83页 |
| 参考文献 | 第83-86页 |
| 第五章 氧化镓磁半导体及光电性能 | 第86-123页 |
| 5.1 引言 | 第86-87页 |
| 5.2 Mn掺杂Ga_2O_3外延薄膜 | 第87-106页 |
| 5.2.1 薄膜生长 | 第87-88页 |
| 5.2.2 薄膜表征 | 第88-94页 |
| 5.2.3 磁学性质 | 第94-96页 |
| 5.2.4 光电性能 | 第96-106页 |
| 5.3 Fe掺杂Ga_2O_3多层薄膜 | 第106-112页 |
| 5.3.1 薄膜表征 | 第106-110页 |
| 5.3.2 光学性质 | 第110-111页 |
| 5.3.3 磁学性质 | 第111-112页 |
| 5.4 Cr掺杂Ga_2O_3纳米蠕虫薄膜 | 第112-118页 |
| 5.4.1 薄膜表征 | 第112-116页 |
| 5.4.2 磁学性质 | 第116-117页 |
| 5.4.3 光电性能 | 第117-118页 |
| 5.5 本章小结 | 第118-119页 |
| 参考文献 | 第119-123页 |
| 第六章 氧化镓阻变存储器 | 第123-141页 |
| 6.1 引言 | 第123-125页 |
| 6.2 氧化镓单极型阻变存储器 | 第125-131页 |
| 6.2.1 器件制备 | 第125页 |
| 6.2.2 器件性能 | 第125-128页 |
| 6.2.3 阻变机理 | 第128-131页 |
| 6.3 氧化镓反常双极型阻变存储器 | 第131-137页 |
| 6.3.1 器件制备 | 第131-132页 |
| 6.3.2 器件性能 | 第132-135页 |
| 6.3.3 阻变机理 | 第135-137页 |
| 6.4 本章小结 | 第137-138页 |
| 参考文献 | 第138-141页 |
| 第七章 总结与展望 | 第141-146页 |
| 7.1 总结 | 第141-144页 |
| 7.2 展望 | 第144-146页 |
| 致谢 | 第146-148页 |
| 攻读博士学位期间取得的学术成果列表 | 第148-151页 |
| 一、学术论文 | 第148-150页 |
| 二、专利 | 第150-151页 |
| 三、参加会议 | 第151页 |
