激光点火系统用MEMS光开关研究与设计
| 摘要 | 第2-3页 |
| Abstract | 第3页 |
| 1 绪论 | 第6-19页 |
| 1.1 课题的研究背景及意义 | 第6-7页 |
| 1.2 光开关分类 | 第7-12页 |
| 1.2.1 机械式光开关 | 第7-9页 |
| 1.2.2 波导光开关 | 第9-11页 |
| 1.2.3 MEMS光开关 | 第11-12页 |
| 1.3 国内外MEMS光开关研究现状 | 第12-18页 |
| 1.3.1 国外MEMS光开关研究现状 | 第12-16页 |
| 1.3.2 国内MEMS光开关研究现状 | 第16-18页 |
| 1.4 本课题的研究内容 | 第18-19页 |
| 2 MEMS光开关原理 | 第19-33页 |
| 2.1 MEMS光开关工作原理 | 第19-23页 |
| 2.1.1 MEMS技术概述 | 第19-20页 |
| 2.1.2 MEMS光开关工作原理及结构 | 第20-23页 |
| 2.2 光耦合原理 | 第23-31页 |
| 2.2.1 光束传输原理 | 第24-25页 |
| 2.2.2 光纤连接对光耦合的影响 | 第25-29页 |
| 2.2.3 微型平面反射镜对光耦合的影响 | 第29-31页 |
| 2.3 光开关的主要性能参数 | 第31-33页 |
| 3 MEMS光开关结构设计与仿真分析 | 第33-47页 |
| 3.1 MEMS光开关结构设计 | 第33-40页 |
| 3.1.1 MEMS光开关光路切换结构设计 | 第33-34页 |
| 3.1.2 MEMS光开关驱动结构设计 | 第34-39页 |
| 3.1.3 MEMS光开关的整体结构设计 | 第39-40页 |
| 3.2 MEMS光开关仿真分析 | 第40-47页 |
| 3.2.1 MEMS光开关模态仿真 | 第40-41页 |
| 3.2.2 MEMS光开关静态仿真 | 第41-42页 |
| 3.2.3 MEMS光开关瞬态仿真 | 第42-43页 |
| 3.2.4 MEMS光开关机电耦合仿真 | 第43-47页 |
| 4 MEMS光开关工艺研究 | 第47-64页 |
| 4.1 微机械加工工艺 | 第47页 |
| 4.2 MEMS光开关的加工工艺流程 | 第47-48页 |
| 4.3 MEMS光开关的关键加工工艺研究 | 第48-61页 |
| 4.3.1 光刻工艺 | 第49-51页 |
| 4.3.2 阳极键合工艺 | 第51-56页 |
| 4.3.3 湿法减薄与CMP抛光工艺 | 第56页 |
| 4.3.4 高深宽比ICP刻蚀工艺 | 第56-61页 |
| 4.4 MEMS光开关耦合工艺 | 第61-64页 |
| 5 MEMS光开关工程化技术研究 | 第64-75页 |
| 5.1 MEMS光开关工程样机研制 | 第64-65页 |
| 5.2 MEMS光开关工程化应用要求 | 第65-66页 |
| 5.3 MEMS光开关静态测试 | 第66-67页 |
| 5.4 MEMS光开关动态测试 | 第67-71页 |
| 5.5 MEMS光开关环境试验 | 第71-75页 |
| 5.5.1 高低温试验 | 第71-72页 |
| 5.5.2 寿命试验 | 第72页 |
| 5.5.3 振动力学试验 | 第72-73页 |
| 5.5.4 冲击力学试验 | 第73-75页 |
| 结论 | 第75-77页 |
| 参考文献 | 第77-80页 |
| 攻读硕士学位期间发表学术论文情况 | 第80-81页 |
| 致谢 | 第81-83页 |
