| 摘要 | 第4-5页 |
| Abstract | 第5-6页 |
| 第1章 绪论 | 第9-17页 |
| 1.1 课题研究的目的及意义 | 第9页 |
| 1.2 激光干涉镜组热漂移特性国内外研究现状 | 第9-15页 |
| 1.2.1 激光干涉镜组热稳定性优化研究现状 | 第9-13页 |
| 1.2.2 激光干涉镜组热漂移测试技术研究现状 | 第13-15页 |
| 1.3 课题主要研究内容 | 第15-17页 |
| 第2章 干涉镜组热漂移机理分析及测试方案设计 | 第17-29页 |
| 2.1 引言 | 第17页 |
| 2.2 镜组热漂移对超精密干涉测量的影响分析 | 第17-21页 |
| 2.2.1 激光外差干涉测量原理 | 第17-18页 |
| 2.2.2 激光干涉镜组热漂移形成机理及特性 | 第18-19页 |
| 2.2.3 镜组光学热漂移对激光干涉测量的影响 | 第19-21页 |
| 2.3 激光干涉镜组热漂移系数测试需求分析 | 第21-24页 |
| 2.4 激光干涉镜组热漂移系数测试系统设计要点分析 | 第24-27页 |
| 2.4.1 激光干涉镜组热漂移系数测试误差来源分析 | 第24-25页 |
| 2.4.2 干涉镜组的热带宽及系统对测试带宽需求分析 | 第25-27页 |
| 2.5 激光干涉镜组热漂移系数测试系统总体设计 | 第27-28页 |
| 2.6 本章小结 | 第28-29页 |
| 第3章 基于热辐射的地温场梯度热结构体设计 | 第29-62页 |
| 3.1 引言 | 第29页 |
| 3.2 基于热辐射的低温度梯度热结构体总体设计 | 第29-30页 |
| 3.3 热源结构设计 | 第30-38页 |
| 3.3.1 辐射传热机理 | 第30-32页 |
| 3.3.2 热源结构与干涉镜组的辐射传热分析 | 第32-33页 |
| 3.3.3 干涉仪镜组瞬态热传导分析 | 第33-34页 |
| 3.3.4 热源结构的设计要求分析 | 第34-35页 |
| 3.3.5 热源结构有效性仿真验证 | 第35-38页 |
| 3.4 热屏蔽结构设计 | 第38-47页 |
| 3.4.1 热屏蔽层设计 | 第40-42页 |
| 3.4.2 多层隔热-温度均化层设计 | 第42-43页 |
| 3.4.3 外部屏蔽结构的温度均化作用仿真 | 第43-44页 |
| 3.4.4 真空腔中残余空气对热结构扰动仿真 | 第44-47页 |
| 3.5 热源选择与散热设计 | 第47-51页 |
| 3.6 热结构温度场控制模型建立及控制算法设计 | 第51-60页 |
| 3.6.1 热结构内温度场的控制模型分析 | 第51-56页 |
| 3.6.2 基于模型预测干涉镜组热漂移测试系统控制算法 | 第56-58页 |
| 3.6.3 模控制算法软件实现及系统驱动模块设计 | 第58-60页 |
| 3.7 本章小结 | 第60-62页 |
| 第4章 系统搭建及实验分析 | 第62-70页 |
| 4.1 引言 | 第62页 |
| 4.2 激光干涉镜组热漂移系数测试系统搭建 | 第62-64页 |
| 4.2.1 具有温度均变性的低梯度热结构 | 第63页 |
| 4.2.2 系统功率驱动模块 | 第63-64页 |
| 4.2.3 基于LabVIEW的实时控制操作中心 | 第64页 |
| 4.3 高精度温度传感器一致性测试 | 第64-65页 |
| 4.4 热结构的有效变温能力测试 | 第65-66页 |
| 4.5 热结构的温度均匀性测试 | 第66-67页 |
| 4.6 测试系统稳定性测试 | 第67-68页 |
| 4.7 激光干涉镜组的热漂移系数测试 | 第68-69页 |
| 4.8 本章小结 | 第69-70页 |
| 结论 | 第70-71页 |
| 参考文献 | 第71-75页 |
| 致谢 | 第75页 |
