| 摘要 | 第4-6页 |
| Abstract | 第6-7页 |
| 1 绪论 | 第10-23页 |
| 1.1 激光等离子体的研究 | 第10-13页 |
| 1.2 激光等离子体极紫外光源的关键技术 | 第13-19页 |
| 1.3 极紫外光源的研究进展 | 第19-20页 |
| 1.4 本论文的研究内容与意义 | 第20-23页 |
| 2 激光等离子体羽辉膨胀及离子碎屑的研究 | 第23-47页 |
| 2.1 激光等离子体羽辉膨胀及离子碎屑测量实验装置 | 第23-27页 |
| 2.2 激光等离子体膨胀的理论分析 | 第27-30页 |
| 2.3 激光等离子体羽辉膨胀特性的研究 | 第30-38页 |
| 2.4 激光等离子体离子碎屑特性的研究 | 第38-45页 |
| 2.5 本章小结 | 第45-47页 |
| 3 激光等离子体的发射光谱诊断 | 第47-60页 |
| 3.1 激光等离子体光谱诊断的基本方法 | 第47-50页 |
| 3.2 CO_2激光等离子体光谱时间分辨特性的研究 | 第50-56页 |
| 3.3 Nd:YAG激光等离子体光谱时间分辨特性的研究 | 第56-59页 |
| 3.4 本章小结 | 第59-60页 |
| 4 激光等离子体极紫外辐射特性研究 | 第60-73页 |
| 4.1 CO_2激光等离子体极紫外辐射谱的研究 | 第61-65页 |
| 4.2 Nd:YAG激光等离子体极紫外辐射谱的研究 | 第65-67页 |
| 4.3 激光等离子体极紫外辐射时空特性的研究 | 第67-72页 |
| 4.4 本章小结 | 第72-73页 |
| 5 磁场及预脉冲作用下激光锡等离子体特性的研究 | 第73-93页 |
| 5.1 磁场作用下激光锡等离子体特性的研究 | 第73-81页 |
| 5.2 预脉冲作用下激光锡等离子体特性的研究 | 第81-91页 |
| 5.3 本章小结 | 第91-93页 |
| 6 总结与展望 | 第93-96页 |
| 致谢 | 第96-97页 |
| 参考文献 | 第97-108页 |
| 附录1 攻读博士学位期间发表论文目录 | 第108页 |