| 摘要 | 第5-8页 |
| abstract | 第8-10页 |
| 第1章 绪论 | 第14-32页 |
| 1.1 引言 | 第14-17页 |
| 1.1.1 微孔加工技术概况 | 第14-16页 |
| 1.1.2 飞秒激光加工的原理及优势 | 第16-17页 |
| 1.2 飞秒激光微孔加工国内外发展概况 | 第17-28页 |
| 1.3 本论文研究的目的和意义 | 第28-30页 |
| 1.3.1 飞秒激光微孔加工有待进一步挖掘之处 | 第28-29页 |
| 1.3.2 研究目的与意义 | 第29-30页 |
| 1.4 本论文主要内容安排 | 第30-32页 |
| 第2章 飞秒激光微孔加工系统搭建 | 第32-42页 |
| 2.1 飞秒激光加工系统 | 第32-36页 |
| 2.1.1 飞秒激光加工光路设计 | 第32-34页 |
| 2.1.2 加工平台及辅助系统搭建 | 第34-36页 |
| 2.2 在线监测系统搭建 | 第36-41页 |
| 2.2.1 微孔加工形貌在线观测 | 第36-37页 |
| 2.2.2 跨尺度微孔加工超快成像系统 | 第37-41页 |
| 2.3 本章小结 | 第41-42页 |
| 第3章 基于飞秒激光烧蚀的微孔加工方法及工艺探索 | 第42-60页 |
| 3.1 基于飞秒激光烧蚀的微孔制备及检测 | 第42-48页 |
| 3.1.1 多脉冲加工深孔结构 | 第42-45页 |
| 3.1.2 剖孔形貌 | 第45-48页 |
| 3.2 微孔加工的主要影响因素及其规律的揭示 | 第48-58页 |
| 3.2.1 激光焦点与材料表面的相对位置 | 第48-51页 |
| 3.2.2 激光脉冲能量 | 第51-55页 |
| 3.2.3 聚焦条件 | 第55-58页 |
| 3.3 本章小结 | 第58-60页 |
| 第4章 深孔加工中弯曲现象的形成机理分析及其解决方案 | 第60-82页 |
| 4.1 微孔弯曲现象及可能存在的原因 | 第60-62页 |
| 4.1.1 微孔弯曲现象详细研究 | 第60-61页 |
| 4.1.2 微孔弯曲可能存在的原因分析 | 第61-62页 |
| 4.2 激光偏振对弯曲的影响及其机理分析 | 第62-67页 |
| 4.2.1 微孔加工中激光偏振的作用研究 | 第62-65页 |
| 4.2.2 偏振对弯曲的作用分析 | 第65-67页 |
| 4.3 微孔形成过程的多尺度在线观测及弯曲机理的分析 | 第67-76页 |
| 4.3.1 泵浦探测观测 | 第67-70页 |
| 4.3.2 纳秒-毫秒曝光成像 | 第70-75页 |
| 4.3.3 进一步分析造成弯曲的可能原因 | 第75-76页 |
| 4.4 微孔弯曲现象的消除 | 第76-80页 |
| 4.4.1 增大脉冲间隔来消除弯曲影响因素 | 第76-78页 |
| 4.4.2 弯曲消除前后所加工的微孔对比 | 第78-80页 |
| 4.5 本章小结 | 第80-82页 |
| 第5章 提高飞秒激光微孔加工深径比的方法及相应机理 | 第82-120页 |
| 5.1 真空辅助微孔深径比提高及弯曲消除 | 第82-84页 |
| 5.2 真空辅助深径比提高的机理分析 | 第84-93页 |
| 5.2.1 真空/非真空等离子体和碎屑喷发对比实验观测 | 第84-90页 |
| 5.2.2 实验设计进一步分析真空辅助深径比提高的原因 | 第90-93页 |
| 5.3 主要影响深径比提高的参数及其分析 | 第93-110页 |
| 5.3.1 对比真空/非真空激光脉冲能量的影响 | 第93-97页 |
| 5.3.2 探索真空辅助打孔对真空度的需求 | 第97-104页 |
| 5.3.3 飞秒激光所特有的高效率导光通道效应分析 | 第104-108页 |
| 5.3.4 重复频率在微孔加工中的重要作用 | 第108-110页 |
| 5.4 飞秒激光空间整形提高微孔加工深径比 | 第110-118页 |
| 5.4.1 空间整形方法 | 第110-113页 |
| 5.4.2 Bessel光束的微孔加工 | 第113-115页 |
| 5.4.3 贝塞尔光束的加工在线观测及加工机理 | 第115-118页 |
| 5.5 本章小结 | 第118-120页 |
| 结论 | 第120-124页 |
| 论文的主要创新性工作内容包含以下几个方面： | 第120-121页 |
| 展望与设想： | 第121-124页 |
| 参考文献 | 第124-136页 |
| 攻读学位期间发表论文与研究成果清单 | 第136-138页 |
| 致谢 | 第138-140页 |
| 作者简介 | 第140页 |
